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产品描述
产品参数
视频简介：
设备特点：
★ 三段电阻丝加热炉，加热温区300+300+300，上下6点独立控温，温场均匀性好；
★ 设备两端配有磁流体密封法兰，确保炉管能在真空条件下进行转动；
★ 设备配有螺旋上料机构，上料电机转速可调，可自由调节上料速度；
★ 智能一体化工控屏显示控制，操作界面简洁，方便使用。
主体结构：
主体CVD设备主要包含加热系统、气路系统、真空系统、炉管回转机构。
1、加热系统：三温区加热炉膛，温区长度300+300+300mm，总加热功率12KW。控温热电偶为K型热电偶，每段温区炉膛上下各1个控温点独立控温，提高炉膛温场均匀性。
2、气路系统：6路工作气体，分别由5个D07-19B 500sccm N2和1个CS200A 500sccm N2质量流量计控制进入混气罐，另外配置1路吹扫气路，由1个D07-19B 5slm N2质量流量计并联接入混气罐之前，可以对整个气路系统进行吹扫。
3、真空系统：采用BSV30真空泵，并配置PCG550真空计检测腔体真空度。
4、炉管回转机构：采用伺服电机，并配置1:30减速机，保证炉管回转平稳。
技术参数（支持定制）：
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额定功率 |
15KW（加热12KW+真空泵1.5KW+电机1.5KW） |
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额定电压 |
AC380V |
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最高温度 |
1200℃（＜1H） |
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持续工作温度 |
≤1100℃； |
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推荐升温速率 |
≤10℃/min |
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炉管尺寸 |
异型石英管 |
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加热区长度 |
300+300+300mm |
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恒温区 |
600mm |
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控温方式 |
10寸触控屏控制，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
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炉体尺寸 |
主体设备：2600*960*1500mm/上料机构：1600*600*1500mm |
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设备净重 |
600KG |
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