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产品名称
卷对卷（RTR）连续生长石墨烯PECVD设备
所属分类
石墨烯生长设备系列
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数量
-
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产品描述
产品参数
视频展示：
（卷对卷同系列设备展示）
技术参数（支持定制）：
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额定电压 |
AC380V |
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额定功率 |
11.5KW |
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最高温度 |
1200℃ |
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持续工作温度 |
1100℃ |
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推荐升温速率 |
10℃/min |
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加热区长度 |
200*200*200mm |
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热电偶 |
K型热电偶 |
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控温方式 |
10寸触液晶屏触摸控制，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
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射频电源 |
1000W |
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电机转速 |
1-10r/min |
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质量流量计 |
3路：100sccm、200sccm、500sccm均为氮气标定 |
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真空计及真空度 |
英福康PCG550 1pa |
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炉体尺寸 |
2675mm×1490mm×1390mm（长×宽×高） |
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设备净重 |
600KG |
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