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管式真空排胶炉

设备简介:此款设备采用高纯度石英作为真空腔体,加热丝位于腔体外部,内部无其他杂质,可达到半导体级洁净度要求。真空度高,加热均匀。可满足高精密陶瓷级功能材料的排胶及真空烧结等工艺。

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    技术参数(支持定制):

    设备型号

    BTF-1100C-III-150

    BTF-1100C-III-210

    BTF-1100C-III-280

    加热方式

    电阻丝

    电阻丝

    电阻丝

    最高使用温度

    1100℃

    1100℃

    1100℃

    长期使用温度

    1050℃

    1050℃

    1050℃

    石英管尺寸

    Φ150x1400mm

    Φ210x1400mm

    Φ280x1400mm

    控温方式

    模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制

    控温精度

    ±1℃

    ±1℃

    ±1℃

    密封方式

    水冷法兰密封

    水冷法兰密封

    水冷法兰密封

    机械泵

    机械泵(10-1Pa),分子泵(10-3Pa)

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