管式真空排胶炉
设备简介:此款设备采用高纯度石英作为真空腔体,加热丝位于腔体外部,内部无其他杂质,可达到半导体级洁净度要求。真空度高,加热均匀。可满足高精密陶瓷级功能材料的排胶及真空烧结等工艺。
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技术参数(支持定制):
设备型号
BTF-1100C-III-150
BTF-1100C-III-210
BTF-1100C-III-280
加热方式
电阻丝
电阻丝
电阻丝
最高使用温度
1100℃
1100℃
1100℃
长期使用温度
1050℃
1050℃
1050℃
石英管尺寸
Φ150x1400mm
Φ210x1400mm
Φ280x1400mm
控温方式
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制
控温精度
±1℃
±1℃
±1℃
密封方式
水冷法兰密封
水冷法兰密封
水冷法兰密封
机械泵
机械泵(10-1Pa),分子泵(10-3Pa)
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