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产品名称
公斤级防爆升华仪
所属分类
半导体&OLED有机小分子材料生产设备
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产品描述
产品参数
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结构简介:
一、电气控制及炉膛安装
电气控制采用控温仪表与触屏组合操控,其控温精确且操作直观简便。仪表及触屏均采用国内著名品牌,质量精确可靠。
六段炉膛温区长度 200+400+200+300+200+200mm,炉膛间格挡较常规炉膛格挡减薄,12 点控温,利于温区间的精确控制,炉膛可以开启,并装有散热风扇,使降温更快。
二、真空管路和法兰
1、左端法兰:
左端法兰:法兰上配 KF-16.KF-25 接口,CF 接口连接手套箱。炉管与法兰之间采用聚四氟垫片填充缝隙,减少污染源。
2、右端法兰:
右端法兰:法兰上配 KF-16,KF-40 接口,CF 接口连接手套箱
三、流量控制
本设备的质量流量计,采用国内著名品牌,质量精确可靠。一共三路,一路量程 5slm 破空气体经流量计后从左端法兰的进气口进入。一路量程 10slm,控压流量用来调整升华仪密封腔体的压力。一路量程,500sccm,通过蝶阀控制用来调整石英管内压力。
四、外观
本设备结构采用承重框架结合不锈钢包围形式,设备简洁时尚又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确、真空优良等性能。重框架采用模块式组装结构,拆卸组装十分方便,利于狭小空间的运输与安装。
技术参数(支持定制):
额定功率:升华仪主体18KW+手套箱1.5KW*2,共21KW
额定电压:AC380V 50/60Hz(三相五线制)
最高温度:400℃
持续工作温度:≤300℃
推荐升温速率:≤10℃/min
炉管尺寸:高纯石英管Φ210*2000mm(管径可选)
加热区长度:200+400+200+300+200+200mm
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
加热元件:电阻丝
设备尺寸:10000*2000*2200mm(含电控柜)
设备净重:约3200KG
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无
有机小分子提纯设备升华仪
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