升华仪 BOF-3-50

1、电气控制及炉膛安装

电气控制采用控温仪表与触屏组合操控，其控温精确且操作直观简便。仪表及触屏均采用国内著名品牌，质量精确可靠。

三段炉膛温区长度200+300+200mm，炉膛间格挡较常规炉膛格挡减薄，6点控温，利于温区间的精确控制，炉膛可以开启，并装有散热风扇，使降温更快。

2、真空管路和法兰

（1）：左端法兰：

左端法兰采用可滑动结构，使炉管拆卸清洗简单方便，炉管与法兰之间采用聚四氟垫片填充缝隙，减少污染源，另配有KF16接口（预留接口）。

（2）：右端法兰：

右端法兰采用简化结构，配有KF16（预留接口）。

（3）真空管路

 右端法兰装有全量程真空计，后端连接前级泵。

3、流量控制

本设备按配备有质量流量计，量程5000sccm，采用国内著名品牌，质量精确可靠。气体经流量计后从左端法兰的进气口进入，使气流对升华材料的影响降到最低。

4、收集区采用夹层冷液循环制冷确保达到收集温度。

5、外观

本设备结构采用承重框架结合钣金包围形式，颜色采用时尚高光白，设备简洁时尚又不乏稳重，更具备操作直观方便、控温精确、真空优良等性能。重框架采用模块式组装结构，拆卸组装十分方便，利于狭小空间的运输与安装。