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产品名称
1200℃前端预热双温区滑轨PECVD系统 BTF-1200C-II-SL-PECVD-400C
所属分类
简易版
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产品描述
产品参数
1、该设备可以抽真空，也可以通气体保护；
2、开启式管式炉使得拆装炉管方便，操作便捷；
3、滑轨装置可以手动自由移动炉体，透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态；
4、石英管直径为60mm，能满足2英寸样品实验；
5、法兰采用了卡箍快捷接头，减去了取放料时的繁琐操作；
6、炉膛材质采用高纯氧化铝纤维，能最大程度减少能量损耗，上下炉膛采用进口电阻丝加热，温场均匀；
7、气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启；
8、温控采用模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，控温精度±1℃，具有断偶、超温、报警功能。
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额定功率 |
4.6KW（预热炉：1KW； 管式炉：3KW；射频机组：0.15KW；低真空机组：0.45KW） |
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额定电压 |
AC 220V 50/60HZ |
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最高温度 |
1200℃ |
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持续工作温度 |
预热炉≤800℃ 双温区管式炉≤1100℃ |
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推荐升温速率 |
≤10℃/min |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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加热区长度 |
预热炉：100mm 加热炉：200+200mm |
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炉管尺寸 |
Φ60*1900mm |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
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射频功率 |
150W |
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设备外形尺寸 |
2100*600*1350mm（长*宽*高） |
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设备总重量 |
约340KG |
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1200℃小型双温区滑轨PECVD系统 BTF-1200C-S-II-SL-PECVD
小型三温区PECVD设备 BTF-1200C-III-S-PECVD
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