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产品名称

供气系统 1路质子

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产品描述
产品参数

  供气系统 1路质子(GMF-1Z)

  该供气系统是一种可控制1种气体,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

 

1路质量流量供气系统
 
最大电压
185~245V/50Hz
最大输出功率
18W
流量计标准量程
500SCCM;(非特殊指定以氮气标定,量程可选定
工作温度
5~45 ºC
工作压差
0.1~0.5 MPa
最大压力
3MPa
测量范围
-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
气特性
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
重复精度
±0.2%
准确度
±1.5% FS 
针阀
316不锈钢
混气罐
Φ80×120mm
截止阀
Φ6mm”316不锈钢针阀
尺寸
600*600*650mm

 

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