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供气系统 1路质子

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供气系统

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  • 　　供气系统 1路质子(GMF-1Z)

    　　该供气系统是一种可控制1种气体，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

     

    1路质量流量供气系统
     
    最大电压
    185~245V/50Hz
    最大输出功率
    18W
    流量计标准量程
    500SCCM；（非特殊指定以氮气标定，量程可选定
    工作温度
    5~45 ºC
    工作压差
    0.1～0.5 MPa
    最大压力
    3MPa
    测量范围
    -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
    气特性
    气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
    重复精度
    ±0.2%
    准确度
    ±1.5% FS 
    针阀
    316不锈钢
    混气罐
    Φ80×120mm
    截止阀
    Φ6mm”316不锈钢针阀
    尺寸
    600*600*650mm

     

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