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产品描述
产品参数
供气系统 1路质子(GMF-1Z)
该供气系统是一种可控制1种气体,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
1路质量流量供气系统
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最大电压
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185~245V/50Hz
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最大输出功率
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18W
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流量计标准量程
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500SCCM;(非特殊指定以氮气标定,量程可选定
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工作温度
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5~45 ºC
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工作压差
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0.1~0.5 MPa
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最大压力
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3MPa
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测量范围
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-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
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气特性
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气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
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重复精度
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±0.2%
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准确度
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±1.5% FS
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针阀
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316不锈钢
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混气罐
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Φ80×120mm
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截止阀
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Φ6mm”316不锈钢针阀
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尺寸
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600*600*650mm
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供气系统 3路质子
供气系统 5路质子
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