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供气系统 3路质子

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供气系统

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  • 　　供气系统 3路质子 GMF-3Z

    　　该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

     

    配置组件
    技术参数
    质量流量控制器
    工作电压：
    185~245V 50HZ
    最大输出功率：
    18W
    流量计标准量程：
    100sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）
    工作温度：
    5~45℃
    工作压差：
    0.1~0.5MPa
    最大压力：
    3MPa
    准确度：
    ±1.5% FS
    机械压力表
    测量范围：
    -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
    针阀
    316不锈钢
    混气罐
    Φ80×120mm
    截止阀
    Φ6mm”316不锈钢针阀
    尺寸
    600×600×650 mm

     

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