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供气系统 1路质子 1路浮子

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供气系统

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  • 　　主要特点

    　　该供气系统是一种可控制两种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 本配比器适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观，实用，操作简便。流量显示准确，可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

     

    　　技术参数

    产品型号
    GMF-1Z-1F
    浮子流量计
    10-100ml/min
    16-160ml/min
    25-250ml/min
    （浮子流量计的量程可根据用户需要选订）
    质量流量控制器
    工作电压：
    185~245V 50HZ
    最大输出功率：
    18W
    流量计标准量程：
    100sccm 、200sccm 、500sccm
    （非特殊指定以氮气标定，量程可选）
    工作温度：
    5~45℃
    工作压差：
    0.1~0.5MPa
    最大压力：
    3MPa
    准确度：
    ±1.5% FS
    机械压力表
    测量范围：
    -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
    针阀
    316不锈钢
    混气罐
    Φ80×120mm
    截止阀
    Φ6mm  316不锈钢针阀
    尺寸
    600×600×650 mm

     

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