四路质子气路系统 GMF-4Z (加鼓泡器)

　　主要特点:

　　1.该供气适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。

　　2.气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

　　3.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

　　4.鼓泡器的主要作用是将供气系统输出的作为载气的氢气、氮气或者氩气等气体注入至液态源不锈钢鼓泡器(bubbler)中，携带出需要的各种非腐蚀性液态源的蒸汽，并将其输送至反应腔体，在高温下参与反应生成最终需要的薄膜或者完成相应的化学反应。

　　5.该设备广泛用于各种使用非腐蚀性液态源蒸汽的CVD，催化反应和活化实验。

　　主要参数：