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宽幅卷对卷连续生长石墨烯CVD设备 RTR-CVD-500

设备型号:RTR-CVD-500

关键词:

CVD

卷对卷

石墨烯生长

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      放卷仓

    · 左端配有移动小车供放置卷料,仓内配有卷料固定的支架以及纠偏、张力、线速度检测等装置供运行中自行调整卷料运行状态

    · 仓外侧3面配有活动门供操作、检修

    · 同时封闭状态下,可通过门上观察窗和仓内灯光观察内部机构运行状态

    · 设备外侧预留有KF口可进行扩展

      预热区

    · 预热区温区长1000mm

    · 上下面配有电阻丝加热和热电偶控温,腔体内侧配有石墨板,腔体上方配有进气管道,同时下方也预留有KF接口供后期加装配件

    · 设备前后侧配有风冷,对壳体进行散热

      反应区

    · 反应区温区长1000mm

    · 上下面配有电阻丝加热和热电偶控温,腔体内侧配有石墨板,腔体上方配有进气管道(通反应气体),同时下方也预留有KF接口供后期加装配件

    · 设备前后侧配有风冷,对壳体进行散热。前面板配有气路组件供手动操作,壳体后部配有球阀控制的出气口,同时配有分液器+蠕动泵装置进行进液

      冷却区

    · 冷却区温区长1000mm

    · 腔体为双层水冷壳体,卷料经冷却区狭窄的腔道后冷却到收卷仓

      收卷仓

    · 收卷仓右端配有移动小车供放置卷料,仓内配有电阻检测装置以及纠偏、张力装置供运行中自行调整卷料运行状态

    · 仓外侧3面配有活动门供操作、检修

    · 同时封闭状态下,可通过门上观察窗和仓内灯光观察内部机构运行状态

    · 设备外侧预留有KF口可进行扩展

    主要参数

    · 额定电压:380V,额定功率:92KW

    · 最高可持续温度:预热区800℃、反应区1150℃

    · 推荐升温速率:≤10℃/min

    · 加热区长度:1000+1000+1000mm(预热区+反应区+冷却区)

    · 收卷宽幅:500mm、750mm、1000mm、1500mm(可选)

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    · 分液罐容积:10L(圆柱型)

    · 蠕动泵:BT100S-DT15-44(四通道)

    · 气路:4路(混合)

    · 进气口:Φ6双卡套

    · 尾气口:Φ65宝塔嘴

    · 进出水接口:Φ16宝塔嘴

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 控温精度:±1℃

    设备尺寸&重量

    · 设备尺寸:6135 x 2045 x 2310mm(长*宽*高)

    · 设备净重:约4吨

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如加热元件、密封圈、样品载具等不包含在内

    · 因人为损坏或工艺问题(如使用腐蚀性气体、强酸碱类物质等)造成的损害不在保修范围内

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