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定制感应加热沉积设备 BTF-1200C-IHCVD

设备型号:BTF-1200C-IHCVD

关键词:

感应加热沉积设备

所属分类:

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  • 主要参数

    · 感应加热最大功率:45KW

    · 至高温度:1100℃

    · 加热台尺寸:Φ60 x 20mm

    · 腔体尺寸:Φ120 x 200mm

    · 真空度:≤5Pa

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 人工智能化30段可编程控制

    设备尺寸

    · 设备尺寸:1800 x 1200 x 2000mm(长*宽*高)

    · 设备净重:约500kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

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