主要特点

· 1800℃级高温沉积能力，适合难熔材料和高温气相反应工艺开发

· 三套独立前驱体系统，降低交叉污染风险，提升多组分工艺灵活性

· 冷壁水冷腔体设计，减少腔壁沉积，提升工艺洁净度和系统安全性

· 50~5000Pa恒压控制，适配低压MOCVD/CVD沉积工艺

· 旋转升降样品台，提高沉积均匀性并优化装取样操作

· PLC+HMI自动控制，支持配方管理、数据记录和安全联锁

主要参数

· 电压：三相 380V 50Hz

· 加热总功率：≤40KW

· 最高温度：1800℃

· 工作温度：≤1700℃

· 升温速度：≤100℃/min

· 加热元件：电阻丝+感应加热

· 热电偶类型：K型+红外测温

温控系统

· 模糊PID控制和自整定调节

· 人工智能化30段可编程控制

· 控温精度：±5℃

设备尺寸&重量

· 设备尺寸：1250 x 800 x 1800mm

· 设备重量：约500kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、加热炉管等不包含在内

· 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体等造成的相关问题不在保修范围内

注意事项

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭阀门对样品加热，则需时刻关注机械压力表的示数，若机械压力表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责