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液相蒸发仪 BTF-350C-UM

设备型号:BTF-350C-UM

关键词:

液相蒸发仪

气液混合蒸发系统

分析仪器校准

半导体制造

CVD(化学气相沉积)

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  • 主要特点

    · 电阻丝加热炉,加热温区100*100*100mm,温场均匀性好

    · 配置密封金属腔体,有效放样容积(液态)400ml

    · 密封罐配有一个Φ6mm双卡套进气口,一个Φ14mm双卡套出气口,进气口对接标准外径Φ6mm聚四氟管或不锈钢管,出气口对接标准Φ14mm卡套波纹管

    · 鼓泡器出气口采用金属波纹管连接,波纹管外部缠加热带保温,加热带通过热电偶和温控仪表控制反馈温度

    · 小体积,放置方便,可用于一般液态源蒸发使用

    炉体结构

    · 2组竖直排列,6个独立控制炉膛

    · 顶上2组管式炉可半盖开启

    主要参数

    · 额定电压:AC220V 50/60Hz

    · 加热功率:炉膛功率 1KW;加热带功率 150W

    · 最高温度:400℃

    · 加热带使用温度:0~160℃

    · 持续工作温度:≤300℃

    · 推荐升温速率:≤10℃/min

    · 炉管规格:304不锈钢腔体

    · 腔体容积:400ml

    · 加热区长度:100 x 100 x 100mm

    · 加热元件:电阻丝

    控温方式

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    设备尺寸&重量

    · 炉体尺寸:250 x 250 x 600mm(长*宽*高)

    · 设备净重:约18kg

    质保

    · 一年质保,终身维护

    · 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体等造成的相关问题不在保修范围内

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