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管式炉声音突然这么大是怎么回事？

因是15年设备，电器交流接触器主触点老化而接触不良导致，按一下"turn-off"再按一下"turn-no"可解决

设备异响

清理设备风扇的灰尘

炉子打开有异常的响声

风扇损坏，更换风扇

pecvd开机后，设备不工作，有吱吱的声音

1、匹配器接地与射频电缆混接在一起，2、匹配器接地与射频电缆分开接线，设备工作正常。

炉子异响

交流接触器（NC6-09/0910/AC220V50HZ）1只接触不良。
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