TEL:400-0033-603
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产品描述
产品参数
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真空腔室 |
Φ120*350（h）mm |
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基片架 |
转速可调 |
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最大可镀工件直径 |
Φ60mm |
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极限真空度 |
2x10-4Pa |
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抽气时间 |
≤30min |
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功率 |
150W |
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真空系统 |
进口分子泵 |
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蒸发温度 |
80-600度 |
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膜厚仪 |
单通道 |
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