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主要参数
· 真空腔室：Φ120*350（h）mm
· 基片架：转速可调
· 最大可镀工件直径：Φ60mm
· 极限真空度：2x10-4Pa
· 抽气时间：≤30min
· 功率：150W
· 真空系统：进口分子泵
· 蒸发温度：80-600℃
· 膜厚仪：单通道
质保期
· 一年质保，终身维护
· 因人为使用损坏，耗材部分不在保修范围内
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