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此款设备由电动滑轨式管式炉、三路供气系统、真空及过滤系统、前驱体鼓泡装置，气体预热装置、软件控制等部分组成。适用于前驱体为非气态源，如固态或液态前驱体，前驱体灌温度可达400℃，且温度独立可调，固态或液态前驱体在一定温度下蒸发后通过惰性气体带入反应区域参与的一些CVD反应。设备结构：1、左右两端进气抽气可相互切换；提高基体上涂层的均匀性；2、炉体底部在电机带动下可在导轨上水平移动，移动速度根据工艺需要可设置；3、采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持；4、供气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计，流量计的量程可选，真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。
加热系统
供电电源
AC 220V，50Hz
额定功率
2KW
最高温度
1200℃（1hour）
使用温度
≤1100℃
炉膛有效尺寸
Φ40*800mm（炉管直径可根据实际需要定制）
炉膛材料
高纯氧化铝纤维
热电偶类型
K型热电偶
控温精度
±1℃
温度控制器
30段可编程控温，PID参数自整定
操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序
加热区长度
150mm
恒温区长度
70mm
加热元件
电阻丝
三路质子流量控制系统
连接头类型
Φ6mm双卡套不锈钢接头
标准量程（N2)
100sccm、200sccm（可根据客户要求定制）
准确度
±1.5%
线性
±0.5~1.5%
重复精度
±0.2%
响应时间
气特性 1~4Sec，电特性 10Sec
工作压差范围
0.1～0.5 MPa
最大压力
3MPa
接口
Φ6，1/4”
真空机组
工作电压
220V±10% 50~60Hz
功率
1KW
抽气速率
10m³/h
极限真空
5x10-1Pa
耐压值
0.03MPa
容油量
1.1L
进排气口径
KF25
噪音
50dB
连接方式
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
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