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1700℃高温CVD系统 BTF-1700C-CVD
加热区参数 |
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电源 |
交流208-240V单相,50/ 60Hz |
额定功率 5.2kw |
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最高温度 |
1650℃ |
持续工作温度 |
1550℃ |
推荐升温速度 |
1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节 智能化30段可编程控制 超温和断偶报警功能 |
加热区长度 |
300mm |
恒温区长度 |
150mm |
控温精度 |
±1℃ |
炉管尺寸 |
Ф60/80*1000mm(管径可选) |
加热元件 |
硅钼棒 |
外形尺寸 |
610x440x720mm |
标准配件 |
高纯刚玉管1支,氧化铝管堵2对,不锈钢法兰1套,氟胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支,小保险1个 |
密封系统 |
炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展 示意图 |
气路系统参数 |
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质量流量计参考量程(N2) |
100sccm、200sccm、500sccm (量程可选) |
准确度 |
±1.5% |
线性 |
±0.5~1.5% |
重复精度 |
±0.2% |
响应时间 |
≤10sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
压力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计 |
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低真空系统参数 |
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抽速 |
10m³/h |
极限真空度 |
5*10-1pa |
电源 |
220V 50Hz |
电机功率 |
0.4KW |
进排气连接口 |
KF25 |
用油量 |
1.1L |
电机转速 |
1440rpm |
工作环境温度 |
5-40℃ |
噪音 |
≤56db |
电阻真空计参数 |
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配用规管 |
电阻规 |
测量范围 |
105~10-1 Pa |
测量路数 |
1路 |
控制范围 |
5×103~5×10-1Pa |
控制方式 |
继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载 |
电源 |
90-260V/50Hz or 220V ± 10% 50Hz |
功耗 |
20W |
采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接 |
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高真空系统参数 |
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空气相对湿度 |
≤85% |
工作电压 |
AC 220V±10% 50/60Hz |
功率 |
1KW |
系统整体极限真空度 |
10-5Pa |
实验真空度 |
10-3Pa |
外形尺寸 |
850×600×650mm |
机械泵 |
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抽气速率 |
10m³/h |
容油量 |
1.1L |
电机功率 |
400W |
极限压强 |
6×10-2Pa |
分子泵 |
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抽气速率 |
100L/S |
极限压强 |
6×10-6Pa |
启动时间 |
<2min |
额定转速 |
4300转/分 |
冷却方式 |
环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷 |
分子泵控制器 |
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电压 |
220V±22V |
启动电流 |
≤7A |
输入频率 |
47Hz~63Hz |
最大输出功率 |
≤150W |
最大加速电压 |
≤40V |
加速时间 |
≤3min |
频率(双速) |
高速:705Hz±10Hz |
低速:430Hz±5Hz |
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复合真空计 |
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测量路数 |
2路(电阻规、电离规各1路) |
工作模式 |
手动/自动 |
电阻单元参数 |
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规管型号 |
电阻规 |
测量范围 |
1.0×105Pa~1.0×10-1Pa |
有效范围 |
2.5×103Pa~5.0×10-1Pa |
控制范围 |
2.5×103Pa~5.0×10-1Pa |
电离单元参数 |
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规管型号 |
电离规 |
可测范围 |
5.0Pa~1.0×10-5Pa |
有效范围 |
1.0Pa~5.0×10-5Pa |
控制范围 |
1.0Pa~5.0×10-5Pa |
规管除气方式 |
焦耳去气 |
其他参数 |
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控制路数 |
4路 |
控制方式 |
点动或区域控制/带掉电记忆 |
控制精度 |
±1% |
采样时间 |
1s |
电源 |
220V±10% 50Hz |
功耗 |
50W |
使用环境温度 |
0℃~45℃ |
湿度 |
≤85% |
连接管路 |
采用全不锈钢,电抛光制作 |
零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s |
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采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接 |
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备注:可根据工艺要求选配低真空或高真空系统 |