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产品名称

1700℃高温CVD系统 BTF-1700C-CVD

设备型号:BTF-1700C-CVD 设备简介:由1700℃管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统(有高、低真空系统可选)所组成;设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便;设备的各项技术参数,30段可编程温控系统更是一目了然,使整个实验的运行状态尽在您的掌控之中。 应用领域:主要用于真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境。
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产品描述
产品参数

1、由1700度管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统(或选配低真空系统)所组成;
2、设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理;
3、气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便;设备的各项技术参数;
4、30段可编程温控系统更是一目了然,使整个实验的运行状态尽在您的掌控之中。

 

加热区参数

电源

交流208-240V单相,50/ 60Hz

额定功率 5.2kw

最高温度

1650℃

持续工作温度

1550℃

推荐升温速度

1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

控温方式

模糊PID控制和自整定调节

智能化30段可编程控制

超温和断偶报警功能

加热区长度

300mm

恒温区长度

150mm

控温精度

±1℃

炉管尺寸

Ф60/80*1000mm(管径可选)

加热元件

硅钼棒

外形尺寸

610x440x720mm

标准配件

高纯刚玉管1支,氧化铝管堵2对,不锈钢法兰1套,氟胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支,小保险1个

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展

示意图

气路系统参数

质量流量计参考量程(N2)

100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

≤10sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

连接头类型

双卡套不锈钢接头

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计

低真空系统参数

抽速

10m³/h

极限真空度

5*10-1pa

电源

220V  50Hz

电机功率

0.4KW

进排气连接口

KF25

用油量

1.1L

电机转速

1440rpm

工作环境温度

5-40℃

噪音

≤56db

电阻真空计参数

配用规管

电阻规

测量范围

105~10-1 Pa

测量路数

1路

控制范围

5×103~5×10-1Pa

控制方式

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz or 220V ± 10% 50Hz

功耗

20W

采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接

高真空系统参数

空气相对湿度

≤85%

工作电压

AC 220V±10%  50/60Hz

功率

1KW

系统整体极限真空度

10-5Pa

实验真空度

10-3Pa

外形尺寸

850×600×650mm

机械泵

抽气速率

10m³/h

容油量

1.1L

电机功率

400W

极限压强

6×10-2Pa

分子泵

抽气速率

 100L/S

极限压强

6×10-6Pa

启动时间

<2min

额定转速

4300转/分

冷却方式

环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷

分子泵控制器

电压

220V±22V

启动电流

≤7A

输入频率

47Hz~63Hz

最大输出功率

≤150W

最大加速电压

≤40V

加速时间

≤3min

频率(双速)

高速:705Hz±10Hz

低速:430Hz±5Hz

复合真空计

测量路数

2路(电阻规、电离规各1路)

工作模式

手动/自动

电阻单元参数

规管型号

电阻规

测量范围

1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围

2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围

2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

电离单元参数

规管型号

电离规

可测范围

5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围

1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围

1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管除气方式

焦耳去气

其他参数

控制路数

4路

控制方式

点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度

±1%

采样时间

1s

电源

220V±10%  50Hz

功耗

50W

使用环境温度

0℃~45℃

湿度

≤85%

连接管路

采用全不锈钢,电抛光制作

零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接

备注:可根据工艺要求选配低真空或高真空系统

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