1700℃高温CVD系统 BTF-1700C-CVD

加热区参数

电源

交流208-240V单相，50/ 60Hz

额定功率 5.2kw

最高温度

1650℃

持续工作温度

1550℃

推荐升温速度

1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min

控温方式

模糊PID控制和自整定调节

智能化30段可编程控制

超温和断偶报警功能

加热区长度

300mm

恒温区长度

150mm

控温精度

±1℃

炉管尺寸

Ф60/80*1000mm（管径可选）

加热元件

硅钼棒

外形尺寸

610x440x720mm

标准配件

高纯刚玉管1支，氧化铝管堵2对，不锈钢法兰1套，氟胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)，端口可按实际使用扩展

示意图

气路系统参数

质量流量计参考量程（N₂)

100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

≤10sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

连接头类型

双卡套不锈钢接头

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计

低真空系统参数

抽速

10m³/h

极限真空度

5*10^-1pa

电源

220V  50Hz

电机功率

0.4KW

进排气连接口

KF25

用油量

1.1L

电机转速

1440rpm

工作环境温度

5-40℃

噪音

≤56db

电阻真空计参数

配用规管

电阻规

测量范围

10⁵～10^-1 Pa

测量路数

1路

控制范围

5×10³～5×10^-1Pa

控制方式

继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz or 220V ± 10% 50Hz

功耗

20W

采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接

高真空系统参数

空气相对湿度

≤85%

工作电压

AC 220V±10%  50/60Hz

功率

1KW

系统整体极限真空度

10^-5Pa

实验真空度

10^-3Pa

外形尺寸

850×600×650mm

机械泵

抽气速率

10m³/h

容油量

1.1L

电机功率

400W

极限压强

6×10^-2Pa

分子泵

抽气速率

 100L/S

极限压强

6×10^-6Pa

启动时间

＜2min

额定转速

4300转/分

冷却方式

环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷

分子泵控制器

电压

220V±22V

启动电流

≤7A

输入频率

47Hz~63Hz

最大输出功率

≤150W

最大加速电压

≤40V

加速时间

≤3min

频率（双速）

高速：705Hz±10Hz

低速：430Hz±5Hz

复合真空计

测量路数

2路（电阻规、电离规各1路）

工作模式

手动/自动

电阻单元参数

规管型号

电阻规

测量范围

1.0×105Pa~1.0×10^-1Pa

有效范围

2.5×103Pa~5.0×10^-1Pa

控制范围

2.5×103Pa~5.0×10^-1Pa

电离单元参数

规管型号

电离规

可测范围

5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范围

1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范围

1.0Pa~5.0×10^-5Pa

规管除气方式

焦耳去气

其他参数

控制路数

4路

控制方式

点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度

±1%

采样时间

1s

电源

220V±10%  50Hz

功耗

50W

使用环境温度

0℃~45℃

湿度

≤85%

连接管路

采用全不锈钢，电抛光制作

零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m3/s

采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接

备注：可根据工艺要求选配低真空或高真空系统