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1700℃高温CVD系统 BTF-1700C-CVD

设备型号:BTF-1700C-CVD 设备简介:由1700℃管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统(有高、低真空系统可选)所组成;设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便;设备的各项技术参数,30段可编程温控系统更是一目了然,使整个实验的运行状态尽在您的掌控之中。 工艺应用:主要用于真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境。

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    · 电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

    · 额定功率:5.2KW

    · 最高温度:1650℃

    · 工作温度:≤1550℃

    · 推荐升温速度:1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

    · 加热区长度:300mm,恒温区长度:150mm

    · 加热元件:硅钼棒

    加热炉

    · 保温材料:采用真空吸附成型的氧化铝纤维无机材料

    · 结构:封闭式

    · 外形尺寸:610 x 440 x 720mm(长*宽*高)

    炉管&法兰

    · 炉管规格:刚玉管 Φ60/80 x 1000mm

    · 炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制,客户可根据不同的需求来设定升降温程序

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    标准配件

    · 高纯刚玉管1根;不锈钢密封法兰1套;氟胶密封圈2套;氧化铝管堵4只;高温手套1副;坩埚钩1支;小保险1个

    气路系统参数(质量流量计多种路数可选)

    · 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可选)

    · 准确度:±1.5%

    · 线性:±0.5~1.5%

    · 重复精度:±0.2%

    · 响应时间:≤10 Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5 MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6,1/4''

    · 显示:4位数字显示

    · 工作环境温度:5~45高纯气体

    · 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

    · 截止阀:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    低真空系统参数

    · 电源:220V 50Hz,电机功率:0.4KW

    · 抽速:10m³/h

    · 极限真空度:5x10-1Pa

    · 进/排气连接口:KF25

    · 用油量:1.1L

    · 电机转速:1440rpm

    · 工作环境温度:5~40℃

    · 噪音:≤56dB

    电阻真空计参数

    · 配用规管:电阻规

    · 测量范围:105~10-1Pa

    · 测量路数:1路

    · 控制范围:5×103~5×10-1Pa

    · 控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V 3A (或DC28V 3A)无感负载

    · 电源:90-260V 50Hz or 220V±10% 50Hz

    · 功耗:20W

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责

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