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有机小分子提纯设备(实验级) BOF-5-100

设备型号:BOF-5-100 设备简介:此款设备将实验级别的升华机进出料端均对接手套箱,手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。

关键词:

升华仪

升华机

有机小分子提纯设备

超净升华提纯设备

半导体材料提纯

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  • 主要参数

    · 额定电压:AC 220V,额定功率:6KW

    · 工作温度:600℃

    · 推荐升温速率:≤10℃/min

    · 炉管尺寸:Φ100 x 1200mm

    · 加热区长度:800mm(共5段,100+200+200+200+100mm)

    · 加热元件:电阻丝

    · 机械泵抽速:16L/s

    · 分子泵抽速:250L/s

    · 极限真空度:5×10-4Pa(机械泵+分子泵)

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 控温精度:±1℃

    设备尺寸

    · 炉体尺寸:1550 x 650 x 1260mm(长*宽*高)

    手套箱

    · 左右各配置一台单工位,1220 x 750 x 900mm

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如加热元件、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内

    · 因人为损坏或工艺问题(如使用腐蚀性气体、强酸碱类物质等)造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 随着使用时间的延长,炉膛表面可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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