有机小分子提纯设备(实验级) BOF-5-100
设备型号:BOF-5-100
设备简介:此款设备将实验级别的升华机进出料端均对接手套箱,手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。
关键词:
升华仪
升华机
有机小分子提纯设备
超净升华提纯设备
半导体材料提纯
所属分类:
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主要参数
· 额定电压:AC 220V,额定功率:6KW
· 工作温度:600℃
· 推荐升温速率:≤10℃/min
· 炉管尺寸:Φ100 x 1200mm
· 加热区长度:800mm(共5段,100+200+200+200+100mm)
· 加热元件:电阻丝
· 机械泵抽速:16L/s
· 分子泵抽速:250L/s
· 极限真空度:5×10-4Pa(机械泵+分子泵)
温控系统
· 模糊PID控制和自整定调节
· 智能化30段可编程控制
· 控温精度:±1℃
设备尺寸
· 炉体尺寸:1550 x 650 x 1260mm(长*宽*高)
手套箱
· 左右各配置一台单工位,1220 x 750 x 900mm
质保期
· 一年质保,终身维护
· 耗材部分如加热元件、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内
· 因人为损坏或工艺问题(如使用腐蚀性气体、强酸碱类物质等)造成的损害不在保修范围内
注意事项
· 随着使用时间的延长,炉膛表面可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复
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