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产品名称

有机小分子提纯设备(实验级)

设备型号:BOF-5-100 设备简介:此款设备将实验级别的升华机进出料端均对接手套箱,手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。
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产品描述
产品参数

额定功率

6KW

工作温度

600℃

推荐升温速率

>10℃/min

炉管尺寸

外径Φ100x1200mm

加热区长度

100+200+200+200+100mm

控温精度

±1℃

加热元件

进口KTL电阻丝

分子泵抽速

250L/s

机械泵抽速

16L/s

炉体尺寸(长*宽*高)

1550*650*1260mm

极限真空

5x10-4Pa

手套箱

左右各配置一台单工位,1220*750*900mm

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