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半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪(量产级)
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产品名称

半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪(量产级)

设备简介:此款设备进料端配置对面双工位手套箱,手套箱内配置轨道及操作平台,方便载料管的运输和装料。升华机出料端配置双面四工位手套箱,手套箱内设置有轨道及升降操作平台方便取料、封装及运输手套箱可内衬四氟或喷涂特氟龙起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。
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产品描述
产品参数

设备视频

设备总长

3800*1800*1850mm

炉体

外壳采用镜面 SUS304 不锈钢

石英外管尺寸

高纯石英材质 Φ300X3000X5mm

Max 加热温度

800℃

稳温精度

±1℃

温区

8个温区,每个温区上下个两个控温点,共16个温控点

炉膛材质

进口氧化铝陶瓷纤维

炉膛尺寸分布

150+700+200+320+320+320+200+150mm

加热丝材质

进口Kanthal电阻丝

显示屏

22寸PC

极限真空(空态、常温)

5.0×10-5Pa

控制系统

全自动/半自动/手动

左手套箱

左端单工位手套箱连接左端法兰

长度:1220mm   深度:750mm   高度:900mm

右手套箱

右端对面双工位手套箱连接右端法兰

长度:2440mm   深度:1000mm   高度:900mm

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