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分体式升华设备将热场置于手套箱 BOF-3-50V
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产品名称

分体式升华设备将热场置于手套箱 BOF-3-50V

设备型号:BOF-3-50V 设备简介:此款设备简易分体式结构,能将升华体置于手套箱内部,控制部分及真空部分置于手套箱外,操作简易。能初步满足材料进出及升华过程中的气氛保护要求。法兰为球头真空吸附方式密封,无需工具操作,大大降低了手套箱内的操作难度,整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。
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产品描述
产品参数

设备型号

BOF-3-50V

设备尺寸

2000*750*2000mm

外管尺寸

50*700mm

加热区长度

100+200+100mm

额定功率

5KW

加热元件

进口KTL电阻丝

控温元件

触摸液晶屏+工控仪表

控温精度

±1℃

冲温幅度

±2℃

推荐升温速率

5-10℃/min

机械泵抽速

10m³/h

分子泵抽速

90L/s

极限真空

10-4Pa

显示屏尺寸

10寸

工作温度

软件温控保护最高温600℃,硬件支持最高温度800℃

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