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产品名称
半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪
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产品描述
产品参数
|
设备尺寸 |
1550*650*1260mm |
|
外管尺寸 |
100*1200mm |
|
加热区长度 |
100+200+100+200+100mm |
|
额定功率 |
6kw |
|
工作温度 |
软件温控保护最高温600℃，设备硬件支持最高温度800℃ |
|
加热元件 |
进口KTL电阻丝 |
|
控温元件 |
触摸液晶屏+工控仪表 |
|
控温精度 |
±1℃ |
|
冲温幅度 |
±1℃ |
|
推荐升温速率 |
±1℃ |
|
机械泵抽速 |
±1℃ |
|
分子泵抽速 |
250L/s |
|
极限真空 |
10-4Pa |
|
显示屏尺寸 |
10寸 |
|
手套箱右侧配置一台对面双工位 |
1220*1000*900mm |
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半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪
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