undefined
+
  • undefined

半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪

设备型号:BOF-5-100V 设备简介:此款设备将实验级别的升华机右端料端均对接手套箱,手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。

关键词:

关闭
  • 产品对比
共 X 个 清空全部内容
  • 产品信息
  • 产品视频
  • 实验案例
  • 配件耗材
  • 设备尺寸

    1550*650*1260mm

    外管尺寸

    100*1200mm

    加热区长度

    100+200+100+200+100mm

    额定功率

    6kw

    工作温度

    软件温控保护最高温600℃,设备硬件支持最高温度800℃

    加热元件

    进口KTL电阻丝

    控温元件

    触摸液晶屏+工控仪表

    控温精度

    ±1℃

    冲温幅度

    ±1℃

    推荐升温速率

    ±1℃

    机械泵抽速

    ±1℃

    分子泵抽速

    250L/s

    极限真空

    10-4Pa

    显示屏尺寸

    10寸

    手套箱右侧配置一台对面双工位

    1220*1000*900mm

相关产品

咨询留言