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半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪
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产品名称

半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪

设备型号:BOF-6-210 设备简介:此设备在出料端配置对面四工位手套箱,手套箱内设置底铺设四氟垫或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。
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产品描述
产品参数

设备尺寸

2700*1600mm*1800mm

外管尺寸

210*2000mm

加热区长度

200+400+200+300+200+200mm

额定功率

18KW

工作温度

软件温控保护最高温600℃,设备硬件支持最高温度800℃

加热元件

进口KTL电阻丝 

控温精度

±1℃

冲温幅度

±1℃

升温速率

可调,≥5℃/min

机械泵抽速

30m³/h

分子泵抽速

160m³/h

极限真空

10-5Pa

显示屏尺寸

15寸

炉膛材质

多晶氧化铝陶瓷纤维

控制系统

自动/手动模式

右侧配置

对面四工位手套箱,手套箱可以做聚四氟垫板,也可以整机内壁喷涂四氟,为方便刮料可定做底部沉孔

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