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产品名称
半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪
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产品描述
产品参数
设备尺寸 |
2700*1600mm*1800mm |
外管尺寸 |
210*2000mm |
加热区长度 |
200+400+200+300+200+200mm |
额定功率 |
18KW |
工作温度 |
软件温控保护最高温600℃,设备硬件支持最高温度800℃ |
加热元件 |
进口KTL电阻丝 |
控温精度 |
±1℃ |
冲温幅度 |
±1℃ |
升温速率 |
可调,≥5℃/min |
机械泵抽速 |
30m³/h |
分子泵抽速 |
160m³/h |
极限真空 |
10-5Pa |
显示屏尺寸 |
15寸 |
炉膛材质 |
多晶氧化铝陶瓷纤维 |
控制系统 |
自动/手动模式 |
右侧配置 |
对面四工位手套箱,手套箱可以做聚四氟垫板,也可以整机内壁喷涂四氟,为方便刮料可定做底部沉孔 |
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半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪
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