undefined
+
  • undefined

半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪

设备型号:BOF-6-210 设备简介:此设备在出料端配置对面四工位手套箱,手套箱内设置底铺设四氟垫或喷涂特氟能起到防腐作用,半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异,对于材料进行提纯,参数准确,工艺可靠稳定,实验结果表明,单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度,将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝,避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染,是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的最佳选择。

关键词:

关闭
  • 产品对比
共 X 个 清空全部内容
  • 产品信息
  • 产品视频
  • 实验案例
  • 配件耗材
  • 设备尺寸

    2700*1600mm*1800mm

    外管尺寸

    210*2000mm

    加热区长度

    200+400+200+300+200+200mm

    额定功率

    18KW

    工作温度

    软件温控保护最高温600℃,设备硬件支持最高温度800℃

    加热元件

    进口KTL电阻丝 

    控温精度

    ±1℃

    冲温幅度

    ±1℃

    升温速率

    可调,≥5℃/min

    机械泵抽速

    30m³/h

    分子泵抽速

    160m³/h

    极限真空

    10-5Pa

    显示屏尺寸

    15寸

    炉膛材质

    多晶氧化铝陶瓷纤维

    控制系统

    自动/手动模式

    右侧配置

    对面四工位手套箱,手套箱可以做聚四氟垫板,也可以整机内壁喷涂四氟,为方便刮料可定做底部沉孔

相关产品

咨询留言