极限真空度

≤6×10^-5Pa

（清洁+烘烤去气条件下12小时内获得）

抽真空时间

20分钟内，≤6×10^-4Pa

基片加热温度

≤600℃

基片尺寸

≤Φ2inch的圆片

基片架数量

1套

靶材尺寸

直径50mm

靶数量

1只

真空室尺寸

DN220*340mm（根据实际情况可能会适当调整）

基片架移动距离

≤50mm（轴向方向）

气路系统

2路进气，其中1路为放气使用

项目

单位

数量

规格

备注

溅射真空室

溅射真空室

只

1

DN220*320

尺寸根据设计要求适当调整上盖可开启

超高真空节流阀

只

1

DN100

电动控制

分子泵

台

1

110L/S

沉积室主泵

机械泵

台

1

DVR10

兼起预抽泵和前级泵作用

挡板阀

只

1

DN25

预抽管道通断

截止阀

只

2

电动

超高真空截止阀

只

1

DN16

照明及烘烤装置

套

1

各型法兰及观察窗

批

DN16、35、63、100、150

不锈钢管路、管接头

批

1

各种规格精密不锈钢管、波纹管、管接头

其它阀门

批

1

真空测量

数显复合真空计

台

1

数字式

金属裸规

批

1

金属接口

质量流量控制器

套

1

100sccm

管路及接头

批

1

截止阀

只

1

电动

进气等控制接口

套

1

转动样品架

转动基片架

套

1

基片旋转

升降装置

套

1

手动升降，磁流体密封

样品旋转

套

1

步进电机控制

磁控溅射系统

磁控溅射靶

套

1

50mm

一体式溅射靶，带挡板

溅射电源

套

1

500W

直流

溅射挡板系统

套

1

设备机架

套

1

含喷塑面板及不锈钢台面

标准件、配件、附件

套

1

水气路系统

套

1

含冷却水机

控制系统

套

1