主要特点

· 管内设计了气氛喷射器可将实验所需气氛直接喷射在物料处，有助于反应更充分

· 样品平放在内管上可以实现内管和外管同时通气体，平放的样品有助于薄膜生长，电极测试，温度更均匀

· 该设备也具有可作为氧化物晶体生长，退火等功能

主要参数

· 额定电压：AC 110/220V Single Phase，50/60 Hz

· 加热功率：3KW

· 最高温度：1200℃

· 持续工作温度：≤1100℃

· 推荐升温速率：≤10℃/min

· 加热区长度：440mm，恒温区长度：200mm

· 加热元件：电阻丝（掺钼铁铬铝合金）

· 热电偶：K型

炉管&法兰

· 高纯石英管Φ50/60/80/100*1000mm

· 配有一套不锈钢定制密封法兰，采用硅胶密封圈密封

· 真空度：0.5Pa（采用机械泵）

· 安装有一机械压力表，测量范围为-0.1~0.15MP

温控系统

· 模糊PID控制和自整定调节

· 智能化30段可编程控制，客户可根据不同的需求来设定升降温程序

· 具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

真空系统（选配）

· 型号：DRV-10 

· 抽气速率：10m³/h

· 极限压强：5×10^-1 Pa（空载、冷态）

· 容油量：1.1 L

· 进/出气口口径：KF25

（可选国产或进口高真空机组）

尺寸&重量

· 设备尺寸（裸机）：590×380×500 mm

· 含炉管法兰炉架：700×530×1280 mm

· 设备净重：约135kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、硅胶圈、炉管、样品坩埚等不包含在内

· 因人为使用不当造成的损害、使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 由于气瓶内部气压较高，所以向管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全，建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品， 量程为0.01MPa-0.1MPa，使用时会更加精确安全

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责