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双层滑轨炉 BTF-1200C-II-SL-2D-CVD

设备型号:BTF-1200C-II-SL-2D-CVD

关键词:

管式炉

滑轨CVD

双层滑轨炉

所属分类:

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  • 结构特色

    · 炉管为石英管,外径Φ25*1400mm

    · 左右法兰为横向卡箍法兰

    · 左端法兰配有1个截止阀控制的进气口+一个压力表

    · 右端法兰配有PCG500真空计和KF25抽真空口和一个球阀控制的出气口

    · 滑轨上配有一个双温区加热炉,加热炉体分为上下二层布置

    · 设备采用承重框架底盘结构形式,加热炉固定于滑轨机构之上,通过导轨实现左右快速加热冷却

    · 导轨下方配有气路柜和2个真空泵

    · 设备颜色采用时尚高光白,设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能

    主要参数

    · 电压:220V,功率:7KW

    · 最高温度:1200℃

    · 工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速率:≤10℃/min

    · 炉管规格:高纯石英管Φ25 x 1400mm

    · 加热区长度:200+200mm(2台)

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    气路柜

    · 3路气体流量(第一层单独进1路;第二层2混1)

    真空组件

    · 真空泵DRV16+真空计PCG550

    设备尺寸&重量

    · 设备总尺寸:2090 x 700 x 1680mm(长*宽*高)

    · 设备总重:约310kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内

    · 因人为使用不当或工艺问题(如使用腐蚀性气体、强酸碱物质等)造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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