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组合式CVD系统 BTF-1200C-II-S-CVD

设备型号:BTF-1200C-II-S-CVD

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  • 设备组成

    · 设备主要分为前端预热炉、加热炉、供气系统三部分组成

    · 前端使用 BTF-1200C-S 左右为预热炉

    · 后端使用 BTF-1200C-II 作为加热炉

    · 气路柜使用 2 路质量流量计(氩气 500sccm,氢气 100sccm)提供气源

    主要参数

    · 电压:AC220V 50/60Hz

    · 额定功率:预热炉 1.3KW,加热炉 3.2KW

    · 至高温度:1200℃

    · 持续工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速率:≤15℃/min

    · 加热区长度:240mm(预热炉)+200mm+200mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶:K型热电偶

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 温场均匀性:±1℃

    尺寸&重量

    · 设备尺寸:1660 x 670 x 1230mm(宽*深*高)

    · 设备净重:约150kg

    质保期

    · 一年质保,终生维护

    · 耗材部分如热电偶、氟胶圈、石英管、样品坩埚等不包含在内

    · 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,减压后压力在0.2~0.4MPa,减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭阀门对样品加热,则需时刻关注机械压力表的示数,若机械压力表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复

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