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集成机械手自动进出料CVD BTF-1200C-AT

设备型号:BTF-1200C-AT 设备简介:该设备装配了机械手,通过智能控制系统控制机械手抓料取料,整个过程无需人工,全程智能操控。机械手采用模块化设计,支持快速更换抓取工具,以适应不同类型和尺寸的机械台,设计自动化密封系统,采用金属法兰压紧胶圈的方式,确保在加载完成后设备内部环境得到严格控制,满足CVD过程的要求。通过智能控制系统,实现自动化流程的实时监控和优化,减少故障率,提升生产效率。

关键词:

机械手设备

机械臂

集成机械手自动进出料CVD

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  • 主要参数

    · 电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

    · 额定功率:3KW

    · 最高温度:1200℃

    · 工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速度:≤15℃/min

    · 加热区长度:440mm,恒温区长度:200mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型热电偶

    加热炉

    · 炉门结构:开启式

    · 密封系统:自动化密封系统,采用金属法兰压紧胶圈的方式

    · 进取料方式:机械手自动抓取进出料

    · 物料变化可追踪:通过工业摄像头对物料变化过程拍照记录

    炉管&法兰

    · 炉管规格:高纯石英管Φ100 x 650mm(可定制)

    · 不锈钢定制法兰

    温控系统

    · 高精度控温仪表控制

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    机械人(机械手)

    · 轴数:6

    · 负载:3kg

    · 机械人本体重量:38kg

    · 机械人最大运动范围:560mm

    · 定位精度(位置重复定位精度):±0.03mm

    · 认证标准:国标 GB/T3836

    · 运动范围:

    轴1:-170°/+170°

    轴2:-110°/+120°

    轴3:-108°/+152°

    轴4:-200°/+200°

    轴5:-118°/+118°

    轴6:-350°/+350°

    · 运动速度:

    轴1:450°/s

    轴2:450°/s

    轴3:525°/s

    轴4:600°/s

    轴5:600°/s

    轴6:800°/s

    安装条件

    · 环境温度:0~45℃

    · 湿度:恒温下 95%以内,无凝露

    · 允许高度:操作机正常工作环境的海拔高度不应超过 1000米(在1000米-4000 米高度范围内操作机应降额使用)

    · 不应有腐蚀性、可燃性、易爆性气体

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管、样品载具等不包含在内

    · 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体等造成的相关问题不在保修范围内

    注意事项

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复

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