集成机械手自动进出料CVD BTF-1200C-AT
关键词:
机械手设备
机械臂
集成机械手自动进出料CVD
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主要参数
· 电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz
· 额定功率:3KW
· 最高温度:1200℃
· 工作温度:≤1100℃
· 推荐升温速度:≤15℃/min
· 加热区长度:440mm,恒温区长度:200mm
· 加热元件:电阻丝
· 热电偶类型:K型热电偶
加热炉
· 炉门结构:开启式
· 密封系统:自动化密封系统,采用金属法兰压紧胶圈的方式
· 进取料方式:机械手自动抓取进出料
· 物料变化可追踪:通过工业摄像头对物料变化过程拍照记录
炉管&法兰
· 炉管规格:高纯石英管Φ100 x 650mm(可定制)
· 不锈钢定制法兰
温控系统
· 高精度控温仪表控制
· 模糊PID控制和自整定调节
· 智能化30段可编程控制
· 具有超温和断偶报警功能
· 控温精度:±1℃
机械人(机械手)
· 轴数:6
· 负载:3kg
· 机械人本体重量:38kg
· 机械人最大运动范围:560mm
· 定位精度(位置重复定位精度):±0.03mm
· 认证标准:国标 GB/T3836
· 运动范围:
轴1:-170°/+170°
轴2:-110°/+120°
轴3:-108°/+152°
轴4:-200°/+200°
轴5:-118°/+118°
轴6:-350°/+350°
· 运动速度:
轴1:450°/s
轴2:450°/s
轴3:525°/s
轴4:600°/s
轴5:600°/s
轴6:800°/s
安装条件
· 环境温度:0~45℃
· 湿度:恒温下 95%以内,无凝露
· 允许高度:操作机正常工作环境的海拔高度不应超过 1000米(在1000米-4000 米高度范围内操作机应降额使用)
· 不应有腐蚀性、可燃性、易爆性气体
质保期
· 一年质保,终身维护
· 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管、样品载具等不包含在内
· 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体等造成的相关问题不在保修范围内
注意事项
· 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复
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