结构说明

· 开启式加热炉：加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，上下独立8点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

· 开启式预热炉：加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，上下独立4点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

· 气路系统：可精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，同时可同PLC进行联动控制

· 反应管组件：使用石英管，两端带水冷法兰组件快开卡箍，方便拆装维护清理

· 智能控制系统：采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能

主要参数

· 电压：AC380V，加热总功率：≤27KW

· 最高温度：1200℃

· 使用温度：100~1100℃

· 推荐升温速度：1~10℃/min

· 加热区长度：100+200+100+200+200+200mm（六个独立温场）

· 炉管规格：高纯石英管（外径）280mm

· 加热元件：电阻丝

· 测温元件：K型热电偶

温控系统

· 30段可编程控温，PID参数自整定

· 操作界面为10”触摸屏，内置PLC控制程序

· 集成加热、进气量设定、真空泵开启和关闭、真空计示数显示、腔室压力值设定与反馈、炉门开启关闭等模块化自动控制，参数可在触摸屏设置、记录、一键操作

· 控温精度：±1℃

流量计控制系统

· 供气数量：6种

· 标准量程：氩气20SLM，氩氧混合气（O2 0.1%）2SLM，氧气2SLM，剩余3路按氩气标定，量程范围可根据工艺调整

· 精度：±1.0%F.S.

· 线性：±0.5%F.S.；

· 重复精度：±0.2%F.S.

· 工作温度：4~45℃

· 工作压差：0.1~0.5MPa

· 最大压力：3MPa

真空系统

真空泵

· 电源：380V 50Hz，功率：2.2KW

· 抽气速率：60m3/h

· 实验真空度：1Pa

· 进气口口径：KF40

· 排气口口径：KF40

真空计

· 输入电压：24V 1A DC（配有220V变压器）

· 真空计接口：KF16

· 数字显示：数字显示，其数据显示单位为torr

· 检测气体：可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好

· 响应时间：≤30ms

· 测量范围：3.8x10-5 —1125Torr

恒压控制系统

· 结构组成：主要部件蝶阀、压力控制器、真空计组成；根据实验要求，在出气端和泵之间增加蝶阀（调节阀）和真空计，真空计可检测管内压力，通过 PLC 调节蝶阀（调节阀）开启的大小，以达到控制管内压力不变

滑轨系统

· 炉体可左右滑动

· 滑动方式：电动

· 滑动速率：5-10mm/s

冷阱回收系统

· 回收结构设计：本机架设2套真空冷阱（分别与CVD炉体对接），可内置冷媒（如酒精、液氮或冷却水根据物料凝华点选择），捕获工艺废气与过量反应源

· 冷阱材质：采用 304 不锈钢材质

· 容积：2L

冷水机

· 型号:CW-5000TG

· 工作电压：AC208-240V 50Hz

· 工作电流：1.4-2.1A

· 压缩机功率：0.295kw

· 制冷量：2361btu/h

· 水箱容量：6L

· 最大流量：10L/min

· 安全保护：压缩机过流保护流量报警，超温报警

· 净重：26kg

· 机械尺寸：55x28x43cm

尺寸&重量

· 设备尺寸：3900 x 1150 x 2000mm（长*宽*高）

· 设备重量：约1300kg

注意事项

· 管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全，减压后压力在0.2~0.4MPa，减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭阀门对样品加热，则需时刻关注机械压力表的示数，若机械压力表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复