售后指导
SV跟PV的差距很大，就是实际温度跟设置温度差距很大。
加热棒断2只，更换同规格加热棒。
我们这个炉子今天突然pv温度显示有问题。突然显示1300多度，下面控制温度只有290。
热电偶松动，将后盖打开拧紧热电偶接线处螺丝
流量计跳动不停
仪表电压型号松动，紧固后显示正常
流量计输出气流小
流量计失灵，返厂维修
真空度达不到要求 流量计不准确
1、法兰进气口卡套螺丝未拧紧；2、气路柜出气口卡套螺丝未拧紧；线上处理：视频指导，螺丝拧紧后真空度满足要求
第二路没有进气，其他三路都正常。
客户新手操作出了问题。出气阀没打开。
第一温区温度一直不能升到指定温度，相差40℃左右。
经检查该设备长期工作在1300ºc，加热棒逐渐老化所致，对此将OPH参数调整85%即可
设备运行过程中冒火光
加热棒断，接触不良 加热时，断面扩大
等离子源，开机蓝屏了，没显示任何数字。
射频电源坏了需要返厂返修
GMF-2Z触摸屏不亮
万用表查电，重点查开关电源，24V电压是否正常。
升华仪触摸屏不显示。检查输入电压12v(正常24V)
检查输入电压12v(正常24V)
运行过程中短路，现在黑屏了。
保险管断路了，换了新的后可正常使用。检查没发现有短路的地方，现让客户观察使用。
管式炉遇到显示器一闪一闪
热电偶重新连接就好啦
射频不启辉，反馈功率不为零
更换射频同轴连接线后，故障排除
射频电源不能启辉
射频线插头及插座烧坏，更换同规格线和插座
射频电源不能起辉
真空是否正常，加电阻硅看真空情况。
射频电源不能起辉
视频检查线圈和匹配器那端线脱落，
压力表始终不能到-0.1mpa
更换压力真空表
压力表第一次用就不归零
返厂更换
设备里面的混气罐，抽真空以后，关闭所有阀门，混气罐的压力表头示数会慢慢回到常压，这个问题怎么解决
出口端穿板截止阀松动，拧紧后故障排除，压力表保压正常
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