售后指导
管式炉声音突然这么大是怎么回事？
因是15年设备，电器交流接触器主触点老化而接触不良导致，按一下"turn-off"再按一下"turn-no"可解决
设备异响
清理设备风扇的灰尘
炉子打开有异常的响声
风扇损坏，更换风扇
pecvd开机后，设备不工作，有吱吱的声音
1、匹配器接地与射频电缆混接在一起，2、匹配器接地与射频电缆分开接线，设备工作正常。
炉子异响
交流接触器（NC6-09/0910/AC220V50HZ）1只接触不良。
我们这边管式炉真空计的显示器坏了，不显示真空度。请问如何处理？
更换规管（同规格）。
流量计不受控，2000sccm流量计通气显示400多，关气可归零。
1.零点漂移2.视频与客户现场调节零点3.又出现异常，流量计寄回校零
通气炸管子
疑似法兰出气口堵塞，清理表面污垢，检查表面是否堵塞并且解决
没通气的情况下压力表不归零
操作有误气路柜出气口至左侧法兰的截止阀未打开，把上述截止阀打开，压力表归零
设备通气阀打开后不通气
客户将进气管接错，更改进出口
现在是CVD通气通不进去
经检查设备法兰无故障，客户自检供气管道问题
气路不能通气
正负15V开关电源坏（更换同规格开关电源D-30F15正负15V一只）
设定的三百，实际通气量是零
流量计不受控，气路仪表失常，流量控制时好时坏。仪表芯片故障。
客户反馈供气系统的压力表的指针示数不对
GZM-3Z气路柜压力表常压下指针同在0.06MPa处，不能复位更换同规格表。
BTF-1200C-PECVD-500A，第一个和第三个气路的流量显示已经超出了量程范围，而且不管通没通气都这样子.
测量仪表输入输出5v电压正常。触摸屏程序刷新。
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