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卷对卷连续化生长CVD设备 RTR-III-80
设备型号:RTR-III-80 设备简介:该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的专用设备,此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉,它由高温生长腔体,三路质量流量计气路系统,真空机组,石英管,冷却装置,收放卷的密封装置,自动化控制系统组成,两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室(即收放铜箔或纤维丝的密封装置),收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮,所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点,可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长或者线性材料的连续生长。(纤维生长工艺,配有纤维张力计,可以通过调节电机转速,以便达到纤维连续进出且受力均匀)
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