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红外快速退火炉系统 BTF-1200C-RTP-CVD
设备型号:BTF-1200C-RTP-CVD 设备简介:该款设备是由单端封口红外滑轨炉、 高真空机组、供气系统及操作控制界面组成,内控热电偶用于控制RTP炉内的温度,出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取,进气口除用于通入保护气体或反应气体外,还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温,以此获得较高的降温速率。
原子层沉积设备 BTF-ALD-100
设备型号:BTF-ALD-100
高精度真空烘箱 BTF-300C-50
设备型号:BTF-300C-50
钎焊炉 BTF-1100C-45
设备型号:BTF-1100C-45
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