简易版球头密封升华仪 BOF-3-60

升华炉

功率

5KW

电压

AC 220V   50/60HZ

加热元件

进口KTL电阻丝

加热区

3区，3点独立控温

温区长度

200+300+200mm（可定制）

升华区及保温区温度

室温至800℃，连续可调

控温方式

数字工控仪表与PLC双控，模糊型PID控制

无纸记录

内置储存记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据

结构描述

设备对半开启

进料端配备高精度质量流量计，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整

采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作。降低人为因素，工艺可靠性达到99.9%

过滤方式

采用多级过滤保护装置，包括微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝阱

Plasma系统

腔体

内外石英管装置，可保证真空室管不受污染，且易于清洗

内层料管分段升华后各段料容易区分，能最大限度的保证产品的纯度和产率

外管（单端封口）：60/100*1000mm，内管根据要求定制

真空系统

真空度

采用主管和分子泵直连，确保实验中高真空要求，真空度可达10^-4Pa

前级泵

抽速 165L/min

分子泵

抽速 49L/s （KF40接口）

转速 81000rpm