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产品名称
简易版球头密封升华仪 BOF-3-60
所属分类
非标定制
零售价
0.00
数量
-
+
库存
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产品描述
产品参数
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升华炉 |
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功率 |
5KW |
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电压 |
AC 220V 50/60HZ |
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加热元件 |
进口KTL电阻丝 |
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加热区 |
3区，3点独立控温 |
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温区长度 |
200+300+200mm（可定制） |
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升华区及保温区温度 |
室温至800℃，连续可调 |
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控温方式 |
数字工控仪表与PLC双控，模糊型PID控制 |
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无纸记录 |
内置储存记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据 |
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结构描述 |
设备对半开启 |
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进料端配备高精度质量流量计，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整 |
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采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作。降低人为因素，工艺可靠性达到99.9% |
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过滤方式 |
采用多级过滤保护装置，包括微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝阱 |
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Plasma系统 |
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腔体 |
内外石英管装置，可保证真空室管不受污染，且易于清洗 |
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内层料管分段升华后各段料容易区分，能最大限度的保证产品的纯度和产率 |
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外管（单端封口）：60/100*1000mm，内管根据要求定制 |
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真空系统 |
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真空度 |
采用主管和分子泵直连，确保实验中高真空要求，真空度可达10-4Pa |
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前级泵 |
抽速 165L/min |
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分子泵 |
抽速 49L/s （KF40接口） |
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转速 81000rpm |
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