主要参数

· 电压：AC 220V 50/60Hz，额定功率：5KW

· 升华区及保温区温度：室温至800℃，连续可调

· 加热区长度：3区，3点独立控温（200+300+200mm支持定制）

· 加热元件：进口KTL电阻丝

温控系统

· 控温方式：数字工控仪表与PLC双控，模糊型PID控制

· 控温精度：±1℃

结构描述

· 设备对半开启

· 进料端配备高精度质量流量计，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整

· 采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作。降低人为因素，工艺可靠性达到99.9%

无纸记录

· 内置储存记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据

过滤方式

· 采用多级过滤保护装置，包括微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝阱

腔体

· 内外石英管装置，可保证真空室管不受污染，且易于清洗

· 内层料管分段升华后各段料容易区分，能最大限度的保证产品的纯度和产率

· 外管（单端封口）：60/100*1000mm，内管根据要求定制

真空系统

· 真空度：采用主管和分子泵直连，确保实验中高真空要求，真空度可达10^-4Pa

· 前级泵：抽速 165L/min

· 分子泵：抽速 49L/s（KF40接口）；转速 81000rpm

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如加热元件、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内

· 因人为损坏或工艺问题（如使用腐蚀性气体、强酸碱类物质等）造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 随着使用时间的延长，炉膛表面可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用氧化铝涂层修复