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公斤级有机半导体材料提纯 升华仪 BOF-6-210
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产品名称

公斤级有机半导体材料提纯 升华仪 BOF-6-210

设备型号:BOF-6-210
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产品描述
产品参数

加热元件

进口KTL电阻丝

加热区数量

5-8区(可根据需求定制),实现一个温曲两点控制,使温场更均匀

升华区温度

室温至800℃,连续可调

保温区温度

室温至400℃可调;恒温温度随时间和空间波动不大于±1℃(测试方法符合国家计量标准JJF 1184-2007)

升华舟容积

0.5~10克,50~500克,500~2000克

控温方式

人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制

无纸记录

内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据

结构描述

设备可电动对半开启,自动控制冷却降温系统.实现可控冷却速度

 

在进料端配备2路高精度质量流量计系统,准确控制气体流量,可以实现生产工艺拓展和调整

 

系统采用自动化工艺流程,设定好工艺一键操作,降低人为因素,工艺可靠性可达到99.9%

过滤方式

系统采用三级过滤保护装置,分别采用5级微孔金属滤网、2套液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤

外管尺寸Φ210X2000mm,腔体采用三层石英管装置,可以自动进出料,结构可保证真空室管不受污染,保持较高的真空度。中层管取料方便,易于清洗,内层料管分段升华后各段料容易区分,能最大限度的保证产品和纯度和产率(最大升华率97%,与材料和配置有关)

腔体采用内控温和外控温相互切换,防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象

设备的正面端面都采用石英密封观察窗,可以全方位无死角观察生产中材料的提纯情况,配上摄像系统可实现生产升华过程全监控和记录

抽真空端采用了主管直径200mm的分子泵直连,确保实验中高真空的需求,在直径200mm直管中间加插板阀,插板阀的两端加直径3mm细管多孔旁抽支路,防止在初真空时抽速太大影响分子扩散的方向,导致材料不均匀

前级机械泵

60m³/h

分子泵抽速

160L/S

机械泵系统

1Pa 

分子泵系统

10-4Pa

多种异形内管可以选购

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