主要参数

· 电压：380V 三相五线制，额定功率：22KW

· Max 加热温度：600℃，上下区独立控温

· 加热温区：8温区

· 温升速率：可调，≥5℃/min

· 冲温幅度：≤2℃

· 稳温精度：±1℃

· 石英管规格：高纯石英材质 Φ300X3000X5mm（外径≥300mm*壁厚5mm±0.5mm）

· 设备炉体表面温度：≤60℃

· 控制系统：全自动/半自动/手动

· 设备总长3800mm，宽度1800mm，高度1850mm

主体结构

· 机台及台面以上部分采用SUS304不锈钢，机台可以拆分，便于拆卸组装

· 炉体外壳采用镜面SUS304不锈钢

· 加热炉盖开启与闭合：上炉体上下掀盖式，可实现任意角度停止

· 炉膛材质：进口氧化铝陶瓷纤维，不易开裂，炉膛采用拼装方式，方便更换维修

· 加热丝材质：瑞典Kanthal 参钼铁铬铝，加热丝真空吸附模具成型，耐用不易损坏

· 炉膛尺寸分布：200+700+200+300+300+300+200+150mm

· 加热区隔断间距：10mm

· 8个温区，每个温区上下个两个控温点，共16个温控点

· 设备左侧舱门上安装石英观察窗

· 设备炉膛两端安装不锈钢防护网，避免石英管炸裂出现的安全隐患

· 前端腔体底座可以实现在导轨上移动，便于拆装石英外管，且移动装置采用不锈钢防护罩进行防护

控制系统

· 采用22寸PC可选，可以实现全自动、手动、半自动三种无缝互切模式

· 操作界面布局简洁明了，易分辨，使用方便，操作舒适流畅

· 控制系统包括温度控制、真空系统控制、机械动作控制、降温控制、自动关机控制等集成于触摸屏内

· 设备设置三级权限

· 系统可以存储至少100条以上的工艺配方，可任意随时调取工艺配方

· 具有实时记录功能，且正常保存

· 具有历史数据储存功能，记录时间可以设置，历史记录数据包括：16个温控器所有的PV与SV数据、真空度、压力值与流量等

· 历史数据具有时间段检索功能，能通过区段进行调取查阅，外接 USB 接口，可以电脑或U盘连接拷贝数据，文件名自行以时间段为命名

· 控制界面显示的真空度、温度以及其他参数显示值应于各部件实际状态保持一致

· 控制系统操作响应迅速，无死机、自动退出等现象

· 三色灯对应信号：黄灯为待机、待料；绿灯为运行；红灯为报警

温控系统

· 上下独立控温，PID 控制

· K 型热电偶，上下16点控温，测温方式贴紧石英管外壁，另在2区下端增加1个测温热电偶，安装方式贴近石英管外壁

· 却方式：风冷

· 加热温度过冲：过冲温度≤2℃

· 相邻温区温差：≤80℃，并可以实现独立控制

· 同等方式进行的校温，同规格设备间的温度波动不超过±2℃

· 升温或者稳温过程中，工程师可以进行程序的修改，恢复运行时从当前步骤开始运行修改后的程序，继续计时；可以随时选择其他阶段工艺步骤；停止加热后可以继续恢复加热程序；可以提前停止加热程序

过滤方式

· 系统采用多级过滤保护装置，分别采用5级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤

真空系统

· 真空配置：端头闸板阀前设置过滤套筒或多层百叶窗过滤板；分子泵：德国莱宝全磁悬浮分子泵MAGW2200ip；前级泵：德国莱宝干泵65plus

· 抽真空速度：粗真空：20min<2Pa；极限真空度：空腔，无液氮真空度测试分子泵满转后60min内主腔体真空度＜5.0×10^-4Pa

· 真空漏率：关闭腔体阀门后，腔体内真空度保持30min后，真空度＜1Pa

· 过滤系统作用是用于阻挡截留材料细微粉体，材质 316L 不锈钢，要求：有效阻挡，不会对系统造成污染，且容易更换安装，便于内部清结

· 采用质量流量计充氮气放空，并配置日本SMC安全压力表控制

· 左端破空口升华工艺时及破空时可通N2气体

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如加热元件、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内

· 因人为损坏或工艺问题（如使用腐蚀性气体、强酸碱类物质等）造成的损害不在保修范围内