结构说明

· 叉车式进料系统：轨道滑动式进出料模式，配备5层加热托盘支架每一层2个托盘且上下左右密封，且每一层支架配备加热元器件，加热温度可控，且托盘可从托盘支架上自由装/卸。每一层托盘支架外侧配备进气口，给腔体提供气流导向。门板与腔体之间采用加装护罩和石墨密封，即可防止材料沉积到门板上，也可维持基础真空

· 加热系统：加热腔体采用氧化铝陶瓷纤维制品与加热丝一体成型设计，金属内腔体，测温元件采用K型热偶，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号

· 组合型收集系统：收集区由两个收集腔体组成，与加热腔体连接处的部分，配备加热系统，温度可控。另外一节收集腔体，配备可滑动装置，方便收集腔体取料、拆卸、清理。收集管底部配备风冷系统，尾端配备舱门以及排气接口与机械泵连接

· 预热及真空系统：进气系统配备预热装置，预热的气体从装料托盘进气口接入、经过主加热腔体再从收集管道排出。设备配备机械泵和电阻真空计，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件

· 工控及操作系统：配备15寸工控屏，集加热、真空、数据处理等控制为一体

主要特点

· 轨道滑动式进出料模式，配备载料托盘，可通过跟换托盘来实现连续升华

· 每层托盘都配备加热系统，且温度可控，温场均匀

· 配备气体引流系统，辅助材料升华后沉积到收集区

· 采用触摸屏控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录

· 设备集成化设计、以及集成化管理，美观方便

加热系统

· 腔体尺寸：长*高*高深=900*1000*1400mm（以实机为准）

· 使用温度：450℃

· MAX 温度：≤600℃

· 保温材质：氧化铝陶瓷纤维

· 加热元件：加热棒

· 测温元件：K型热偶

· 密封方式：石墨密封

· 升温速率：1-15℃/min，可调

· 控温方式：人机界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制

· 内腔体材质：304不锈钢

滑轨式进料系统

· 单个托盘尺寸：800*640*50mm（长*宽*高）

· 单个托盘重量：约10kg

· 托盘数量：5层共10个

· 托盘材质：304不锈钢

· 通气：每一层托盘上下左右密封，且每层双边配备吹起口，配备质量流量计可控制进气均匀性

收集系统

· 收集管尺寸：带加热区Φ400*500mm，可拆卸；带隔热防护区Φ400*1300mm，带滑轨，可拆卸

· 腔体连接法兰：异形定制

· 冷却方式：风冷

· 加热方式：加热丝

· 排水：配备排水装置

预热及真空系统

· 预热温度：400℃

· 炉管尺寸：Φ100mm

· 加热元件：电阻丝

· 温控系统：30段可编程控温，PID参数自整定，具有超温和断偶报警功能

· 加热区长度：400mm

· 机械泵：BSV30，抽速30m³/h

· 真空计：成都正华，电阻规

· 真空范围：≤100Pa

· 排气接口：KF25/40

工控及操作系统

· 控制方式：15寸触控屏

· 功能实现：整合设备各部件开关，真空、加热等控制，软件通讯功能稳定可靠，可视化温度且数据实时记录且可导出

· 电源：30KW，整机使用电源380V，三相五线制

· 三色灯：黄灯为待机，绿灯为运行，红灯为报警

· 报警防护：①超温声光报警；②热电偶故障声光报警；③生产结束声光报警；④前级泵异常声光报警；⑤配备机械式急停按钮

设备尺寸&重量

· 整体尺寸：长*宽*高 6500*1400*1855mm（进料滑轨打开）；备注：放料托盘划出与加热主腔体预留500mm间隙

· 控制柜尺寸：950*500*2000mm（长*宽*高）

· 整机重量：≤2000kg，每平方承重约400-500kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如加热元件、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内

· 因人为损坏或工艺问题（如使用腐蚀性气体、强酸碱类物质等）造成的损害不在保修范围内