升华过程

· 混合物的分离

· 各组分的蒸发——控制加热温度低于材料的汽化温度

· 再结晶——沿温度梯度沉积再结晶

主要参数

· 加热区数量：6区，上下2点独立控温

· 温区长度：200+400+200+300+200+200mm

· 石英管尺寸：Φ130*2000mm

· 升华区及保温区温度：室温至800℃，连续可调

· 处理量：300-500g/炉

· 加热元件：进口KTL电阻丝

控温方式

· 人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制

· 数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控

· 采用模糊型PID控制，温度可调±1℃

无纸记录

· 内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据

结构描述

· 设备对半开启

· 在进料端配备高精度质量流量计，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整

· 系统采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作，降低人为因素，工艺可靠性可以达到99.9%

过滤方式

· 系统采用多级过滤保护装置，分别采用5级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝阱过滤

真空

· 真空配置：前级泵抽速BSV30抽速：30m³/h，分子泵抽速650L/s

· 抽真空端采用了主管与分子泵直连，确保实验中高真空的需求，冷态空载条件下，主腔体20min内真空度低于2x10^-2torr，开启分子泵后，40min内主腔体真空度低于5x10^-6torr

· 真空漏率测试：到达极限真空度后（5x10^-6torr），关闭所有阀门，30min后低于2x10^-2torr

其它

· 水冷机：型号CW-5000TG

· 空压机：型号30L/980W/220V

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如加热元件、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内

· 因人为损坏或工艺问题（如使用腐蚀性气体、强酸碱类物质等）造成的损害不在保修范围内