主要参数

· 加热区数量：3-5区（可根据需求定制）

· 升华区温度：室温至800℃，连续可调

· 保温区温度：室温至400℃可调;恒温温度随时间和空间波动不大于±1℃（测试 方法符合国家计量标准JJF 1184-2007）

· 加热元件：进口KTL电阻丝

温控系统

· 人机界面加PLC控制，15寸液晶屏控制

· 数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控

· 采用模糊型PID控制

· 控温精度：±1℃

无纸记录

· 内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据

结构描述

· 设备可实现电动前后对半开启，自动控制冷却降温系统.实现可控冷却速度

· 在进料端配备1路高精度质量流量计系统，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整

· 系统采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作。降低人为因素，工艺可靠性可以达到99.9%

过滤方式

· 系统采用三级过滤保护装置，分别采用5级微孔金属滤网、2套液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤

其它信息

· 腔体采用三层石英管装置(选配)，可以自动进出料，结构可保证真空室管不受污染，保持较高的真空度。中层管取料方便，易于清洗，内层料管分段升华后各段料容易区分，能最大限度的保证产品和纯度和产率(最大升华率97%，与材料和配置有关)

· 设备的正面端面都采用石英密封观察窗，可以全方位无死角观察生产中材料的提纯情况，配上摄像系统可实现生产升华过程全监控和记录

· 抽真空端采用了主管直径100mm的分子泵直连，确保实验中高真空的需求，在直径100mm直管中间加插板阀，插板阀的两端加直径3mm细管多孔旁抽支路，防止在初真空时抽速太大影响分子扩散的方向，导致材料不均匀

· 真空系统选配EDWARDS品牌TSB5D1001泵组，抽速200L/s。本机极限真空： 10^-7mbar

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如加热元件、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内

· 因人为损坏或工艺问题（如使用腐蚀性气体、强酸碱类物质等）造成的损害不在保修范围内