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产品描述
产品参数
主要特点
前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助硫粉蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精确,操作简便。并配有气氛微调装置,可以准确的反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好。
技术参数
硫粉预热器
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型号:BTF-400C
工作温度:350℃
最高温度:400℃
最快升温速率:30℃/min
推荐升温速率:10℃/min
控温方式:智能化30段可编程控制
工作电压:AC220 V
额定功率:800W
控温精度:±1℃
加热元件:电阻丝
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硫化炉
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技术参数
额定功率(KW):3
额定电压(V):AC220v 50/60 Hz
最高温度(℃):1200(1 hour)
持续工作温度(℃):1100
升温速率(℃/min):≤50
炉管尺寸(mm):高纯石英管Φ50×1200mm
加热区长度(mm):440mm
恒温区长度(mm):200mm
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度(℃):±1
加热元件:电阻丝
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供气系统GMF-3Z
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(质子流量计)
重量:35Kg
外形尺寸:600x600x650mm
连接头类型:双卡套不锈钢接头。
标准量程(N2):50sccm、200sccm、500sccm; (可根据用户要求定制)
准确度:±1.5%
线性:±0.5~1.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
最大压力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀:Φ6
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低真空机组VAU-02
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空气相对湿度≤85%,
工作电电压:220V±10% 50~60HZ
功率:1千瓦
抽气速率:4L\s
极限真空:4X10-2Pa
实验真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
进气口口径:KF25
排气口口径:KF25
转速:1450rpm
噪音:50dB
外型尺寸:600×600×600mm
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