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省发改委总工程师笪艺武一行调研百思集团
每一个粽要时刻，都想与你分享
合肥市市委书记来百思集团调研
合肥投资促进局领导调研百思集团产品研发中心
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产品描述
产品参数
主要特点
前端配有可加热到400℃的预加热器，辅助硫粉蒸发，后端为双温区硫化炉，温度控制精确，操作简便。并配有气氛微调装置，可以准确的反应腔体内部的气体压力，带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用，重复性好。
技术参数
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硫粉预热器
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型号：BTF-400C
工作温度：350℃
最高温度：400℃
最快升温速率：30℃/min
推荐升温速率：10℃/min
控温方式：智能化30段可编程控制
工作电压：AC220 V
额定功率：800W
控温精度：±1℃
加热元件：电阻丝
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硫化炉
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技术参数：
额定功率(KW):3
额定电压(V):AC220v 50/60 Hz
最高温度(℃):1200（1 hour）
持续工作温度(℃）：1100
升温速率（℃/min）：≤50
炉管尺寸（mm）：
高纯石英管Φ50×1200mm
加热区长度（mm）：440mm
恒温区长度（mm）:200mm
控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度(℃):±1
加热元件:电阻丝
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供气系统GMF3Z
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（质子流量计）
重量：35Kg
外形尺寸：600x600x650mm
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
标准量程（N2)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根据用户要求定制）
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
最大压力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管：Φ6
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6
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低真空机组VAU-02
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空气相对湿度≤85%，
工作电电压：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
抽气速率：4L\s
极限真空：4X10-2Pa
实验真空度：1.0X10-1Pa
容油量：1.1L
进气口口径：KF25
排气口口径：KF25
转速：1450rpm
噪音：50dB
外型尺寸:600×600×600mm
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