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前端预热法硫化钼制备设备
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产品名称

前端预热法硫化钼制备设备

设备简介:前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助硫粉蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精确,操作简便。并配有气氛微调装置,可以准确的反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好。
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产品描述
产品参数

硫粉预热器

工作电压

AC 220V

额定功率

800W

最高温度

400℃

工作温度

350℃

最快升温速率

30℃/min

推荐升温速率

10℃/min

控温方式

智能化30段可编程控制

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

硫化炉

额定电压

AC 220V  50/60Hz

额定功率

3KW

最高温度

1200℃(1hr)

持续工作温度

1100℃

升温速率

≤50℃/min

炉管尺寸

高纯石英管Φ50*1200mm

加热区长度

440mm

恒温区长度

200mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

供气系统

供气

GMF-3Z(质子流量计)

重量

35Kg

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,200sccm、500sccm(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组VAU-02

空气相对湿度

≤85%

工作电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

4L/s

极限真空

4X10-2Pa

实验真空度

1.0X10-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

噪音

50dB

外形尺寸

600*600*600mm

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