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产品描述
产品参数
1、前端配有预热炉,可用于蒸发固态源;
2、加热炉选用滑轨炉,可实现快速升温/降温,缩短实验时间;
3、法兰端采用卡箍密封,这样就使进料出料更加的方便;
4、进气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计,流量计的量程也可以选择不同的配置,真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。
预热炉 |
|
最高温度 |
400℃ |
温区长度 |
100mm |
滑轨炉 |
|
电压 |
AC 220V 50/60Hz |
功率 |
2KW |
最高温度 |
1200℃ |
持续工作温度 |
1100℃ |
加热区长度 |
440mm |
恒温区长度 |
200mm |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 |
±1℃ |
加热元件 |
电阻丝(掺钼铁铬铝合金) |
炉管尺寸 |
Φ50*1650mm |
气路系统 |
|
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) |
50sccm、100sccm、200sccm、500sccm(可根据用户要求定制) |
准确度 |
±1.5%FS |
线性 |
±0.5~1.5% |
响应时间 |
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
压力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
真空系统 |
|
空气相对湿度 |
≤85% |
抽速 |
10m³/h |
真空度 |
10-1Pa |
容油量 |
1.1L |
转速 |
1450rpm |
噪音 |
50dB |
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