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二维材料生长CVD系统
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产品名称

二维材料生长CVD系统

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产品描述
产品参数

1、前端配有预热炉,可用于蒸发固态源;
2、加热炉选用滑轨炉,可实现快速升温/降温,缩短实验时间;
3、法兰端采用卡箍密封,这样就使进料出料更加的方便;
4、进气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计,流量计的量程也可以选择不同的配置,真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。
 

预热炉

最高温度

400℃

温区长度

100mm

滑轨炉

电压

AC 220V  50/60Hz

功率

2KW

最高温度

1200℃

持续工作温度

1100℃

加热区长度

440mm

恒温区长度

200mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

炉管尺寸

Φ50*1650mm

气路系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm、100sccm、200sccm、500sccm(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%FS

线性

±0.5~1.5%

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

真空系统

空气相对湿度

≤85%

抽速

10m³/h

真空度

10-1Pa

容油量

1.1L

转速

1450rpm

噪音

50dB

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