加热系统

· 电压：单相220V 50Hz

· 最高温度：1200℃

· 使用温度：≤1100℃

· 炉膛材料：氧化铝、高温纤维制品

· 炉膛有效尺寸：Ф100mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制）

· 加热区长度：440mm，恒温区长度：200mm

· 控温方式：30段可编程控温，PID参数自整定；操作界面为7寸工控电脑，内置PLC控制程序

· 控温精度：±1℃

· 加热元件：电阻丝

· 热电偶类型：K型

前端预热器

· 使用温度：400℃

· 炉膛材料：氧化铝、高温纤维制品

· 加热区长度：100mm

· 加热元件：电阻丝

· 控温方式：30段可编程控温，PID参数自整定；操作界面为7寸工控电脑，内置PLC控制程序；可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制

· 控温精度：±1℃

PE射频电源

· 供电电压：AC 220V 频率50/60Hz

· 功率输出范围：0~500W

· 射频输出接口：50 Ω, N-type, female

· 功率稳定度：≤5W

· 谐波分量：≤-50dBc

· 整机效率：≥70%

· 功率因素：≥90%

· 冷却方式：强制风冷

3路质子流量控制系统

· 连接头类型：双卡套不锈钢接头

· 标准量程（N₂）：50sccm、100sccm、500sccm（可根据用户需求定制）

· 准确度：±1.5%F.S.

· 线性：±1%F.S.

· 重复精度：±0.2%F.S.

· 响应时间：气特性：1～4Sec，电特性：10Sec

· 工作压差范围：0.1～0.5MPa

· 最大压力：3MPa

· 接口：Φ6，1/4''

· 显示：4位数字显示

· 工作环境温度：5~45高纯气体

· 压力真空表：－0.1～0.15MPa, 0.01MPa/格

· 截止阀：Φ6

· 内外双抛不锈钢管：Φ6

低真空机组

· 工作电压：220V±10%V 50~60Hz，功率：1KW

· 工作环境温度：5~40℃

· 空气相对湿度：≤85%

· 抽气速率：10m³/h

· 极限真空度：5x10^-1Pa（空载、冷态）

· 工作压力范围：1.01325X10⁵～0.5Pa

· 耐压值：0.03MPa

· 容油量：1.1L

· 进/排气口口径：KF25

· 噪音：50dB

· 连接方式：采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

· 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全，减压后压力在0.2~0.4MPa，减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复