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前端预热滑轨式PECVD BTF-1200C-II-SL-PECVD
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产品名称

前端预热滑轨式PECVD BTF-1200C-II-SL-PECVD

设备型号:BTF-1200C-II-SL-PECVD 设备简介:我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),系统可以实现连续滑动温区,连续可控制温度及Plasma强度。PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:①电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。②通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。
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产品描述
产品参数

前端预热器

使用温度

400℃

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温

PID参数自整定

操作界面为7’’工控电脑,内置PLC控制程序

可将温控系统、滑轨炉滑动(时间和距离)设定为程序控制

加热长度

100mm

加热元件

电阻丝

加热系统

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ100mm(适用于2-3英寸样品,炉管直径可根据实际需求定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶

K型

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温

PID参数自整定

操作界面为7/10寸工控电脑,内置PLC控制程序

加热区长度

440mm

恒温区长度

200mm

加热元件

电阻丝

供电电源

单相,220V  50Hz

PE系统

功率输出范围

0W~500W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

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