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1200℃单工位大口径快速退火炉 RTP-1200C-200-SL
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产品名称

1200℃单工位大口径快速退火炉 RTP-1200C-200-SL

设备型号:RTP-1200C-200-SL 设备简介:单工位大口径快速退火炉是由单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、进出气口及操作控制界面组成,内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度,伺服电机用于控制丝杆的转动速度达到精确控制炉管(样品)移除炉膛的速度,从而用于调节炉管(样品)的降温速度,与之相反可以得到较快的升温速率;出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取,进气口除用于通入保护气体或反应气体外,还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温,以此获得较高的降温速率。
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产品描述
产品参数

单工位大口径快速退火炉是由单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、进出气口及操作控制界面组成,内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度,伺服电机用于控制丝杆的转动速度达到精确控制炉管(样品)移除炉膛的速度,从而用于调节炉管(样品)的降温速度,与之相反可以得到较快的升温速率;出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取,进气口除用于通入保护气体或反应气体外,还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温,以此获得较高的降温速率。

 

设备组成:单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、流量控制系统及工控电脑操作系统。
 
1、单端封口小型红外滑轨炉:
该加热系统采用国际先进制造工艺,造型新颖结构合理,炉体炉管可实现自动分离,炉体上下两半设计,气动弹簧支撑结构让操作者可各角度自由打开,安全可靠。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型,表面涂覆高反射率的超高温保护涂层,除能够保持其能量的最低损耗,还能增强高温稳定性,可有效减少热能损耗。
该滑轨炉加热系统由红外灯管加热,采用内插热电偶控温的方式实时显示石英腔体内部温度,加热区长度为370mm,恒温区长度200mm,确保两个Φ100*100mm的夹具可放置在恒温区内,为让样品在炉管内的中心位置,考虑石英置物架的高度,石英管管径综合考虑在210mm,恒温区200mm内的温场均匀性控制在±5℃,升温速率≤30℃/s, 整个石英腔体直接划出炉膛,样品降温过程可在通入一定量保护气体的条件下快速降温,平均降温速率可达到2℃/s, 试样反应区处在一个密闭的石英腔体内,在完成工艺的同时大大降低了间接污染试样的可能性。采用石英管堵维持炉内的温场均匀性及石英舱体内的洁净度。
 
2、电机调速装置
伺服电机调速装置用于控制丝杆的转动速度,达到控制炉管部分的整体移动速度(含样件),以此调整快速升降温的目标速率,电机旋转速度实时显示并且精确可控,以获得精确的移动速度,满足降温时工艺参数要求。


加热系统

额定功率

10KW

额定电压

 AC 220V 50/60Hz

石英管尺寸

Φ210*370mm(炉管直径可根据实际需要定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

加热元件

电阻丝

控温精度

±5℃

热电偶类型

K型热电偶(内插)

控制方式

该系统人机界面+PLC控制,10寸液晶屏显,显示器可直接显示真空度、气体流量、热电偶温度、电机旋转速度等信息

气路系统

标准量程(N2

1000sccm(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性 1~4 Sec,电特性 10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

工作环境温度

5~45高纯气体

真空系统

机械泵

抽气速率

4L/s

容油量

1.1L

电机功率

400W~

极限压强

6x10-2Pa

分子泵

抽气速率

100L/s

极限压强

1x10-4Pa

启动时间

<2min

额定转速

4300转/分钟

冷却方式

环境温度5-32℃时,风冷

5-40℃时,水冷

分子泵控制器

电压

220V±22V

启动电流

≤7A

输入频率

47Hz-63Hz

最大输出功率

≤150W

最大加速电压

≤40V

加速时间

≤3min

频率(双速)

高速705Hz±10Hz

低速430Hz±5Hz

复合真空计

 

 

测量路数

2路(电阻规、电离规各1路)

工作模式

手动/自动

电阻单元参数

规管型号

ZJ-52T电阻规

测量范围

1.0x105Pa~1.0x10-1Pa

有效范围

2.5x103Pa~5.0x10-1Pa

控制范围

2.5x103Pa~5.0x10-1Pa

电离单元参数

规管型号

ZJ-27电离规

可测范围

5.0Pa~1.0x10-5Pa

有效范围

1.0Pa~5.0x10-5Pa

控制范围

1.0Pa~5.0x10-5Pa

规管除气方式

焦耳去气

其他参数

控制路数

4路

控制方式

点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度

±1%

采样时间

1s

电源

220V±10%  50Hz

功耗

50W

使用环境温度

0~45℃

湿度

≤85%

连接管路

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

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