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1200℃单工位大口径快速退火炉 RTP-1200C-200-SL
单工位大口径快速退火炉是由单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、进出气口及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度，伺服电机用于控制丝杆的转动速度达到精确控制炉管（样品）移除炉膛的速度，从而用于调节炉管（样品）的降温速度，与之相反可以得到较快的升温速率；出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温，以此获得较高的降温速率。
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加热系统 |
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额定功率 |
10KW |
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额定电压 |
AC 220V 50/60Hz |
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石英管尺寸 |
Φ210*370mm（炉管直径可根据实际需要定制） |
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炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
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加热元件 |
电阻丝 |
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控温精度 |
±5℃ |
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热电偶类型 |
K型热电偶（内插） |
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控制方式 |
该系统人机界面+PLC控制，10寸液晶屏显，显示器可直接显示真空度、气体流量、热电偶温度、电机旋转速度等信息 |
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气路系统 |
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标准量程（N2） |
1000sccm（可根据用户要求定制） |
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准确度 |
±1.5% |
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线性 |
±0.5~1.5% |
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重复精度 |
±0.2% |
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响应时间 |
气特性 1～4 Sec，电特性 10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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真空系统 |
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机械泵 |
抽气速率 |
4L/s |
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容油量 |
1.1L |
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电机功率 |
400W~ |
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极限压强 |
6x10-2Pa |
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分子泵 |
抽气速率 |
100L/s |
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极限压强 |
1x10-4Pa |
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启动时间 |
＜2min |
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额定转速 |
4300转/分钟 |
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冷却方式 |
环境温度5-32℃时，风冷 5-40℃时，水冷 |
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分子泵控制器 |
电压 |
220V±22V |
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启动电流 |
≤7A |
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输入频率 |
47Hz-63Hz |
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最大输出功率 |
≤150W |
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最大加速电压 |
≤40V |
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加速时间 |
≤3min |
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频率（双速） |
高速705Hz±10Hz 低速430Hz±5Hz |
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复合真空计
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测量路数 |
2路（电阻规、电离规各1路） |
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工作模式 |
手动/自动 |
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电阻单元参数 |
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规管型号 |
ZJ-52T电阻规 |
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测量范围 |
1.0x105Pa~1.0x10-1Pa |
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有效范围 |
2.5x103Pa~5.0x10-1Pa |
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控制范围 |
2.5x103Pa~5.0x10-1Pa |
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电离单元参数 |
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规管型号 |
ZJ-27电离规 |
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可测范围 |
5.0Pa~1.0x10-5Pa |
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有效范围 |
1.0Pa~5.0x10-5Pa |
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控制范围 |
1.0Pa~5.0x10-5Pa |
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规管除气方式 |
焦耳去气 |
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其他参数 |
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控制路数 |
4路 |
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控制方式 |
点动或区域控制/带掉电记忆 |
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控制精度 |
±1% |
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采样时间 |
1s |
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电源 |
220V±10% 50Hz |
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功耗 |
50W |
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使用环境温度 |
0~45℃ |
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湿度 |
≤85% |
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连接管路 |
采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s |
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