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产品描述
产品参数
主要特点
该设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。完全彻底地清除样品表面的有机污染物。定时处理、快速处理、清洗效率高。 绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。
技术参数
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型号规格 |
BMS-II-150 |
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反应舱规格 |
Φ180*L260mm（石英材质） |
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反应舱有效容积 |
4.5L |
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输入电源 |
220V/50HZ |
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整机输入功率 |
150W |
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射频功率 |
0-150W（连续可调） |
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射频频率 |
13.56MHz |
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常用工作气体 |
空气、氩气、氮气或混合气体等 |
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整机规格 |
500*250*300mm(长*宽*高） |
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整机重量 |
25KG |
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射频电源参数 |
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信号频率 |
13.56MHz+/-0.005% |
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功率输出范围 |
5W-150W |
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最大反射功率 |
100W |
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射频输出接口 |
50Ω，N-type,female |
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功率稳定度 |
+/-0.1% |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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供电电压 |
单相交流（187V-253V）频率50/60HZ |
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整机效率 |
≥70% |
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功率因素 |
≥90% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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大口径等离子清洗机 BMS-III-500
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