主要特点

· 该设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点

· 对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性

· 完全彻底地清除样品表面的有机污染物

· 定时处理、快速处理、清洗效率高

· 绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染

· 在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理

主要参数

· 输入电源：220V/50Hz

· 整机输入功率：150W

· 射频功率：0-150W（连续可调）

· 射频频率：13.56MHz

· 反应舱规格：Φ180*L260mm（石英材质）

· 反应舱有效容积：4.5L

· 常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等

· 整机规格：500 x 250 x 300mm(长*宽*高）

· 整机重量：25kg

射频电源参数

· 信号频率：13.56MHz+/-0.005%

· 功率输出范围：5W-150W

· 最大反射功率：100W

· 射频输出接口：50Ω，N-type,female

· 功率稳定度：±0.1%

· 谐波分量：≤-50dBc

· 供电电压：单相交流（187V-253V）频率50/60HZ

· 整机效率：≥70%

· 功率因素：≥90%

· 冷却方式：强制风冷

质保期

· 一年质保，终生维护

· 耗材部分如硅胶圈、石英管、样品载具等不包含在内

· 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内