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产品描述
产品参数
产品特点：
本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。技术参数：玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯金靶尺寸：Φ58mm真空系统：直联旋片真空泵2L/S真空检测：皮氏计真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节双级旋片式真空泵RVD-2：抽速：2L/S极限压力：5×10-2Pa
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技术参数： |
玻璃处理室： |
Φ100mm、高度130mm |
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试样台尺寸： |
Φ40mm可同时放6个样品杯 |
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金靶尺寸： |
Φ58mm |
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真空系统： |
直联旋片真空泵2L/S |
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真空检测： |
皮氏计 |
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真空保护： |
20Pa配有微量充气阀调节工作真空 |
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工作室工作媒介气体： |
空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节 |
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双级旋片式真空泵 RVD-2： |
抽速：2L/S |
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极限压力：5×10-2Pa |
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