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产品名称

小型离子溅射仪

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产品描述
产品参数

产品特点:

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。技术参数:玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯金靶尺寸:Φ58mm真空系统:直联旋片真空泵2L/S真空检测:皮氏计真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节双级旋片式真空泵RVD-2:抽速:2L/S极限压力:5×10-2Pa

 

技术参数:

玻璃处理室:

Φ100mm、高度130mm

试样台尺寸:

Φ40mm可同时放6个样品杯

金靶尺寸:

Φ58mm

真空系统:

直联旋片真空泵2L/S

真空检测:

皮氏计

真空保护:

20Pa配有微量充气阀调节工作真空

工作室工作媒介气体:

空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节

双级旋片式真空泵

RVD-2:

抽速:2L/S

极限压力:5×10-2Pa

 

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