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小型离子溅射仪

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等离子清洗

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  • 产品特点：

    本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。技术参数：玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯金靶尺寸：Φ58mm真空系统：直联旋片真空泵2L/S真空检测：皮氏计真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节双级旋片式真空泵RVD-2：抽速：2L/S极限压力：5×10-2Pa

     

    技术参数：

    玻璃处理室：

    Φ100mm、高度130mm

    试样台尺寸：

    Φ40mm可同时放6个样品杯

    金靶尺寸：

    Φ58mm

    真空系统：

    直联旋片真空泵2L/S

    真空检测：

    皮氏计

    真空保护：

    20Pa配有微量充气阀调节工作真空

    工作室工作媒介气体：

    空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节

    双级旋片式真空泵

    RVD-2：

    抽速：2L/S

    极限压力：5×10-2Pa

     

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