新款智能型等离子体增强化学气相沉积系统 PECVD-500A

加热系统

最高温度

1200℃（1 hour)

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ100*1650mm（管径可选）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整定

操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序

可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制

加热长度

440mm

恒温长度

200mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相，220V，50Hz

额定功率

3KW

PE射频电源

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

500W（功率可选）

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N₂)

100sccm，100sccm、200sccm；200sccm

（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组VAU-02

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃～40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

10m³/h（抽速可选）

极限真空

5X10^-1Pa

工作压力范围

1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

电阻真空计参数

配用规管：

ZJ-52T电阻规，

测量范围：

10⁵ ～10^-1 Pa

测量路数：

1路

控制范围：

5×10³ ～5×10^-1 Pa

控制方式：

继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源：

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗：

20W