TEL:400-0033-603

销售热线:

400-0033-603

 

总经理投诉电话:18009693519

贝意克学术论文奖荐读 | 宁夏大学朱涛涛 SiC陶瓷膜的制备研究
贝意克学术论文奖荐读 | 复旦大学 曹永杰:独立思考,发现问题,解决问题!
交流研思 笃行致远 | 合肥工业大学微电子学院师生莅临我司参观交流
贝意克奖学金—寻找最闪耀的你

 ------- 实验室预约 -------- 

微信公众号

安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

我要留言

欢迎点击留下您宝贵的意见

我们会在第一时间给您回复

Copyright 2017  安徽贝意克设备技术有限公司   皖ICP备12002778号-1   技术支持:中企动力  合肥

>
>
>
新款智能型等离子体增强化学气相沉积系统 PECVD-500A
浏览量:
产品名称

新款智能型等离子体增强化学气相沉积系统 PECVD-500A

设备型号:PECVD-500A
所属分类
零售价
0.00
数量
-
+
库存
0
没有此类产品
联系我们
在线咨询
产品描述
产品参数

 

加热系统

最高温度

1200℃(1 hour)

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ100*1650mm(管径可选)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定

操作界面为10”工控电脑,内置PLC控制程序

可将温控系统、滑轨炉滑动(时间和距离)设定为程序控制

加热长度

440mm

恒温长度

200mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相,220V,50Hz

额定功率

3KW

PE射频电源

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

500W(功率可选)

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

100sccm,100sccm、200sccm;200sccm

(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组VAU-02

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

10m³/h(抽速可选)

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

电阻真空计参数

配用规管:

ZJ-52T电阻规,

测量范围:

105 ~10-1 Pa

测量路数:

1路

控制范围:

5×103 ~5×10-1 Pa

控制方式:

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗:

20W

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂未实现,敬请期待
暂未实现,敬请期待
上一篇
下一篇