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流化床系统 BST-1200C-CVD

设备型号:BST-1200C-CVD

关键词:

CVD

流化床

碳纳米管制备

多壁碳纳米管生长

所属分类:

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  • 主要特点

    · 气体先经过气体预热炉预热后进入流化床反应腔体,可以降低大量冷气流进入腔体对工艺的影响

    · 反应器出口配有搅动装置, 防止碳管在反应器出口堵塞

    · 进液口附近配有测温热电偶, 可以控制进液口的温度

    · 进液口活动式, 可以根据工艺需要的温度调整上下位置

    · 收集器排气口安装可转动式滤网,方式滤网堵塞

    主要参数

    · 工作温度:≤1100℃

    · 加热区长度:300+300+300+300+300mm(5温区)

    · 气体预热炉加热区长度:300+300+300mm

    · 炉管规格:石英管 Φ300mm(外径)

    · 加热元件:电阻丝

    · 预热炉加热元件:电阻丝

    · 预热炉盘管材质:310s

    控制系统

    · 温控系统:30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为液晶触摸屏控制

    · 电气控制系统:PLC+平板触摸电脑控制系统

    ① 温控系统:PLC+触摸电脑控制,采用热电偶+控温仪表控制电源的输出从而控制模具的温度,触摸电脑自动记录烧结过程及历史曲线。配备PLC控制器,具有PID及超温报警功能,能储存和输出记录,清晰反应炉子工作状况

    ② 控制系统软件由我公司自行开发,人机界面操作系统,画面友好,操作简单,响应速度快,可对炉内工况进行实时监测,系统稳定可靠

    ③ 本设备可自动采集温度曲线、供气曲线、真空度曲线,对各个工艺参数(温度、供气、真空度)实现动态显示,方便用户根据历史曲线分析烧结工艺

    ④ 控制系统上设有过流、超温等分类报警功能,同时带有通讯接口

    · 控温精度:±1℃

    气路系统

    · 内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量,按要求配比

    · 准确度:±1.5%

    · 线性:±0.5~1.5%

    · 重复精度:±0.2%

    · 响应时间:气特性:1~4Sec,电特性:10Sec

    真空泵

    · 预抽真空泵抽速:60m³/h

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责

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