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产品名称

流化床系统 BST-1200C-CVD

设备型号:BST-1200C-CVD
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产品描述
产品参数

1、气体先经过气体预热炉预热后进入流化床反应腔体,可以降低大量冷气流进入腔体对工艺的影响。
2、反应器出口配有搅动装置, 防止碳管在反应器出口堵塞。
3、进液口附近配有测温热电偶, 可以控制进液口的温度。
4、进液口活动式, 可以根据工艺需要的温度调整上下位置。
5、收集器排气口安装可转动式滤网,方式滤网堵塞。
 

炉管材质

石英管

炉管尺寸

Φ300mm(外径)

加热元件

电阻丝

工作温度

≤1100℃

温控系统

30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为液晶触摸屏控制

控温精度

±1℃

加热区长度

300+300+300+300+300mm(5温区)

气路系统

内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量,按要求配比

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

预抽真空泵抽速

 60m³/H

气体预热炉加热区长度

300+300+300mm

预热炉加热元件

电阻丝

预热炉盘管材质

310S

 

电气控制系统:
PLC+平板触摸电脑控制系统
1、温控系统:PLC+触摸电脑控制,采用热电偶+控温仪表控制电源的输出从而控制模具的温度,触摸电脑自动记录烧结过程及历史曲线。配备PLC控制器,具有PID及超温报警功能,能储存和输出记录,清晰反应炉子工作状况。
2、控制系统软件由我公司自行开发,人机界面操作系统,画面友好,操作简单,响应速度快,可对炉内工况进行实时监测,系统稳定可靠。
3、本设备可自动采集温度曲线、供气曲线、真空度曲线,对各个工艺参数(温度、供气、真空度)实现动态显示,方便用户根据历史曲线分析烧结工艺。
4、控制系统上设有过流、超温等分类报警功能,同时带有通讯接口。
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暂未实现,敬请期待
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