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产品名称

小型浮动催化系统 BST-1400C-CVD

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产品描述
产品参数

本设备适用于浮动催化法制备碳纳米管工艺,该设备包括有:气体流量控制装置、多温区反应器及加热装置、注液装置、固体收集装置、自动泄压装置、控制系统。

 

1、反应器出口配有气体吹扫接口, 防止碳管在反应器出口堵塞。

2、进液口附近配有测温热电偶, 可以控制进液口的温度。

3、进液口活动式, 可以根据工艺需要的温度调整上下位置。

4、收集器排气口安装可转动式滤网,防止滤网堵塞。

5、设备配置有自动泄压装置, 压力超过上限时可自动泄压。

6、配置氢气报警器, 当检测到氢气含量超标时, 自动切断除惰性气体外的其他气体进气。

 

炉管材质

刚玉管

炉管尺寸

φ80mm(外径)

加热元件

硅碳棒

工作温度

≤1350℃

温控系统

30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为液晶触摸屏控制

控温精度

±1℃

加热区长度

750mm(3点控温)

气路系统内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量,按要求配比,配有1路鼓泡器

控制范围

2~100%F.S.

准确度

≤10SLM ±1%F.S.,>10SLM ±2%F.S.

线性

≤10SLM ±0.5%F.S.,>10SLM ±2%F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤2 sec

预抽真空泵抽速

30m³/H

设备功率

18KW

液态碳源调控注入系统

注液规格

10ul-140ml

工作模式

注入,抽取,注入抽取,抽取注入,连续模式

通道数

1

最大行程

140mm

行程分辨率

0.156um/ustep

线速度范围

1um/min-150um/min

线速度调节分辨率

1um/min

行程控制精度

误差<±0.35%(行程>最大行程30%时)

冷却水要求

制冷量

2361btu/h

流量

不小于10L/min

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