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本设备适用于浮动催化法制备碳纳米管工艺，该设备包括有：气体流量控制装置、多温区反应器及加热装置、注液装置、固体收集装置、自动泄压装置、控制系统。
1、反应器出口配有气体吹扫接口， 防止碳管在反应器出口堵塞。
2、进液口附近配有测温热电偶， 可以控制进液口的温度。
3、进液口活动式， 可以根据工艺需要的温度调整上下位置。
4、收集器排气口安装可转动式滤网，防止滤网堵塞。
5、设备配置有自动泄压装置， 压力超过上限时可自动泄压。
6、配置氢气报警器， 当检测到氢气含量超标时， 自动切断除惰性气体外的其他气体进气。
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炉管材质 |
刚玉管 |
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炉管尺寸 |
φ80mm（外径） |
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加热元件 |
硅碳棒 |
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工作温度 |
≤1350℃ |
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温控系统 |
30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为液晶触摸屏控制 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热区长度 |
750mm(3点控温） |
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气路系统内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量，按要求配比，配有1路鼓泡器 |
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控制范围 |
2～100％F.S. |
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准确度 |
≤10SLM ±1％F.S.，＞10SLM ±2％F.S. |
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线性 |
≤10SLM ±0.5％F.S.，＞10SLM ±2％F.S. |
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重复精度 |
±0.2％F.S. |
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响应时间 |
≤2 sec |
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预抽真空泵抽速 |
30m³/H |
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设备功率 |
18KW |
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液态碳源调控注入系统 |
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注液规格 |
10ul-140ml |
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工作模式 |
注入，抽取，注入抽取，抽取注入，连续模式 |
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通道数 |
1 |
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最大行程 |
140mm |
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行程分辨率 |
0.156um/ustep |
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线速度范围 |
1um/min-150um/min |
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线速度调节分辨率 |
1um/min |
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行程控制精度 |
误差＜±0.35%（行程＞最大行程30%时） |
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冷却水要求 |
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制冷量 |
2361btu/h |
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流量 |
不小于10L/min |