主要特点

· 反应器出口配有气体吹扫接口， 防止碳管在反应器出口堵塞

· 进液口附近配有测温热电偶， 可以控制进液口的温度

· 进液口活动式， 可以根据工艺需要的温度调整上下位置

· 收集器排气口安装可转动式滤网，防止滤网堵塞

· 设备配置有自动泄压装置， 压力超过上限时可自动泄压

· 配置氢气报警器， 当检测到氢气含量超标时， 自动切断除惰性气体外的其他气体进气

主要参数

· 电压：AC380V，功率：18KW

· 最高温度：1400℃

· 工作温度：≤1350℃

· 加热区长度：750mm（3点控温）

· 炉管规格：刚玉管Φ80mm（外径）

· 加热元件：硅碳棒

· 预抽真空泵抽速：30m³/h

温控系统

· PID参数自整

· 30段可编程控制

· 操作界面为液晶触摸屏控制

· 控温精度：±1℃

气路系统

· 内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量，按要求配比，配有1路鼓泡器

· 控制范围：2～100％F.S.

· 准确度：≤10SLM ±1％F.S.；＞10SLM ±2％F.S.

· 线性：≤10SLM ±0.5％F.S.；＞10SLM ±2％F.S.

· 重复精度：±0.2％F.S.

· 响应时间：≤2sec

液态碳源调控注入系统

· 注液规格：10ul - 140ml

· 工作模式：注入，抽取，注入抽取，抽取注入，连续模式

· 通道数：1

· 最大行程：140mm

· 行程分辨率：0.156um/ustep

· 线速度范围：1um/min - 150um/min

· 线速度调节分辨率：1um/min

· 行程控制精度：误差＜±0.35%（行程＞最大行程30%时）

冷却水要求

· 制冷量：2361btu/h

· 流量：不小于10L/min

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分（如加热元件、密封圈、炉管等），人为损坏等不包含在内