构造说明

· 主体CVD设备：主体CVD设备主要包含加热系统、气路系统、真空系统、炉管回转机构

 ① 加热系统：三温区加热炉膛，温区长度300+300+300mm，总加热功率12KW。控温热电偶为K型热电偶，每段温区炉膛上下各1个控温点独立控温，提高炉膛温场均匀性

 ② 气路系统：6路工作气体，分别由5个D07-19B 500sccm N₂和1个CS200A 500sccm N₂质量流量计控制进入混气罐，另外配置1路吹扫气路，由1个D07-19B 5slm N2质量流量计并联接入混气罐之前，可以对整个气路系统进行吹扫

 ③ 真空系统：采用BSV30真空泵，并配置PCG550真空计检测腔体真空度

 ④ 炉管回转机构：采用伺服电机，并配置1:30减速机，保证炉管回转平稳

· 上料机构：由螺杆送料器、升降机构、滑动滑轨组成，送料前通过摇动涡轮升降器手柄可以调节螺杆送料器的送料螺杆的中心高度，与设备法兰中心高度一致后，锁紧升降器上方导柱的锁紧手柄；可左右移动送料螺杆至合适位置进行送料

· 收料机构：用真空泵将收料桶抽成真空状态，将收料杆深入设备内部物料处，打开收料杆上的球阀，利用真空负压产生的吸力将物料吸入收料桶内

主要特点

· 三段电阻丝加热炉，加热温区300+300+300mm，上下6点独立控温，温场均匀性好

· 设备两端配有磁流体密封法兰，确保炉管能在真空条件下进行转动

· 设备配有螺旋上料机构，上料电机转速可调，可自由调节上料速度

· 智能一体化工控屏显示控制，操作界面简洁，方便使用

主要参数

· 额定电压：AC380V 50/60 Hz

· 额定功率：15KW（加热12KW+真空泵1.5KW+电机1.5KW）

· 最高温度：1200℃

· 持续工作温度：≤1100℃

· 推荐升温速度：≤10℃/min

· 加热区尺寸：300+300+300mm，恒温区长度：600mm

· 炉管规格：异形石英管

· 加热元件：电阻丝

· 热电偶类型：K型热电偶

温控系统

· 10寸触控屏控制

· 模糊PID控制和自整定调节

· 智能化30段可编程控制

· 具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

尺寸&重量

· 主体尺寸：2600 x 960 x 1500mm

· 上料机构：1600 x 600 x 1500mm

· 设备净重：约600kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用氧化铝涂层修复