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卷对卷连续走丝CVD沉积系统 RTR-1700C-III-CVD
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产品名称

卷对卷连续走丝CVD沉积系统 RTR-1700C-III-CVD

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产品描述
产品参数

 

★该卷对接设备搭配左右收放卷仓、感应加热组件、加热炉、尾部过滤组件、气路组件、真空组件等;
★ 左端为放卷仓,由电机加上卷轴组件等部件组成,法兰上配有2组截止阀控制的进气口1和2,法兰上配有1个压力表,仓体上配有真空规和KF口;右端为收卷仓,由电机加上卷轴组件等部件组成, 法兰上配有1组球阀控制的出气口,仓体上配有真空规和KF口,尾部配有过滤组件;
★ 感应加热组件由线圈、高频主风机组件组成;加热炉为三温区:200+200+200mm组成;前部为触摸屏操控界面;尾部过滤组件内置过滤挡片,方便清洗更换,同时尾部配有搅拌功能,防止尾部杂质淤积和堆积;气路为6路供气,其中4路混合一路进左法兰进气口1,一路预热后进左法兰进气口2,另外1路作为吹扫,进右腔体保护使用;真空组件由一台机械泵和一套真空泵组合而成;
★ 设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能。
 

额定功率

45KW

额定电压

380V

工作持续温度

≦1600℃

推荐升温速率

1400℃以下≤10℃/min,1400℃到 1600℃≤5℃/min,1600℃以下≤2℃/min

炉管尺寸

刚玉管φ25mm×1600mm

加热区长度

200mm+200mm+200mm

感应加热机型号

BTG45

热电偶

B 型热电偶

控温方式

模糊 PID 控制和自动整定调节,智能化 30 段可编程控制

控温精度

±1℃

加热元件

硅钼棒

炉体尺寸

长 2915mm×宽 1535mm×高 1455mm

炉体净重

950KG

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