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卷对卷连续走丝CVD沉积系统 RTR-1700C-III-CVD

设备型号:RTR-1700C-III-CVD

关键词:

CVD

CVD沉积系统

卷对卷

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    · 该卷对接设备搭配左右收放卷仓、感应加热组件、加热炉、尾部过滤组件、气路组件、真空组件等

    · 左端为放卷仓,由电机加上卷轴组件等部件组成,法兰上配有2组截止阀控制的进气口1和2,法兰上配有1个压力表,仓体上配有真空规和KF口

    · 右端为收卷仓,由电机加上卷轴组件等部件组成, 法兰上配有1组球阀控制的出气口,仓体上配有真空规和KF口,尾部配有过滤组件

    · 感应加热组件由线圈、高频主风机组件组成;加热炉为三温区:200+200+200mm组成;前部为触摸屏操控界面;尾部过滤组件内置过滤挡片,方便清洗更换,同时尾部配有搅拌功能,防止尾部杂质淤积和堆积

    · 气路为6路供气,其中4路混合一路进左法兰进气口1,一路预热后进左法兰进气口2,另外1路作为吹扫,进右腔体保护使用;真空组件由一台机械泵和一套真空泵组合而成

    · 设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能

    主要参数

    · 电压:AC 380V,额定功率:45KW

    · 最高温度:1700℃

    · 持续工作温度:≤1600℃

    · 推荐升温速度:1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min,1600℃以下≤2℃/min

    · 加热区长度:200+200+200mm

    · 加热元件:硅钼棒

    · 热电偶类型:B型热电偶

    · 感应加热机型号:BTG45

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 人工智能化30段可编程控制

    · 控温精度:±1℃

    尺寸&重量

    · 炉管规格:刚玉管Φ25x1600mm

    · 炉体尺寸:2915 x 1535 x 1455mm(长*宽*高)

    · 设备净重:约950kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分(如热电偶、密封圈、炉管等)、人为损坏不包含在内

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